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La máxima pureza en caminos largos con una solución innovadora de conducción de energía en salas limpias de igus

La cadena de energía de sala limpia C6 con nuevo sistema de guía e-spin permite un proceso resistente al desgaste de hasta 30 m y mantiene la ISO Clase 1 del Fraunhofer IPA

La cadena de energía C6 en combinación con la nueva rueda de guía e-spin permite un suministro de energía y datos confiable con una emisión mínima de partículas, incluso en recorridos de hasta 30 m. (Fuente: igus SE & Co. KG)
La cadena de energía C6 en combinación con la nueva rueda de guía e-spin permite un suministro de energía y datos confiable con una emisión mínima de partículas, incluso en recorridos de hasta 30 m. (Fuente: igus SE & Co. KG)

Ya sea en la microelectrónica, en la fabricación de semiconductores o en la producción de baterías, todo gira en torno a la libertad de partículas y la máxima seguridad del proceso. Con una mayor automatización y plantas en constante crecimiento, los caminos para el transporte de materiales también se alargan. Un desafío central es garantizar un suministro confiable de energía y datos con una emisión mínima de partículas. Las barras colectoras no transmiten datos, y las cadenas de energía suelen necesitar sistemas de aspiración complejos para micropartículas. Con la cadena de energía C6, certificada por el Fraunhofer IPA según la clase ISO 1, en combinación con la nueva rueda de guía superior e-spin, igus ofrece una solución para ello. El sistema permite una conducción de energía compacta y duradera en salas limpias, incluso en trayectorias de hasta 30 m de longitud.

En las fábricas modernas de semiconductores, las obleas de silicio atraviesan numerosos pasos del proceso, desde la litografía hasta el grabado y la metallización. Debido a los estrictos requisitos de limpieza y libertad de partículas, el transporte manual dentro de la sala limpia no es práctico. En su lugar, cada vez más, sistemas automatizados asumen el transporte seguro y eficiente de las cassettes de obleas a largas distancias. Por ejemplo, mediante el transporte por grúa aérea (OHT), un sistema de rieles que mueve las cassettes por debajo del techo. Esto ahorra espacio en la sala limpia, pero plantea un desafío para los diseñadores: el suministro de energía y datos al OHT. “Las barras colectoras no transmiten datos y requieren mucho mantenimiento. Las cadenas de energía suelen necesitar dispositivos de aspiración complejos para partículas. La demanda de una alternativa limpia, duradera y económica en la sala limpia es considerable”, explica Kira Weller, gerente de producto de cadenas y experta en salas limpias en igus.

Rodillos en lugar de deslizamiento con el nuevo sistema de guía e-spin

Para resolver este dilema, igus ha desarrollado un sistema de guía especial llamado e-spin para la cadena de energía en sala limpia C6. Se trata de ruedas guía, que, como todas las cadenas de energía igus, están hechas de un plástico de alto rendimiento optimizado tribológicamente, es decir, en función de la fricción y el desgaste. Las ruedas se colocan entre el tren superior e inferior de la cadena de energía. Las partes de la cadena ruedan unas sobre otras en lugar de deslizarse, y esto sin emitir partículas adicionales. “Gracias al sistema e-spin, las cadenas de energía pueden utilizarse en producción dentro de una sala limpia sin unidades de aspiración”, dice Kira Weller. Los diseñadores reducen así la complejidad en la conducción de energía de los sistemas de transporte y ahorran costos. El sistema de cadena de energía se puede configurar rápidamente a través del experto en cadenas en el sitio web de igus. Al mismo tiempo, el sistema, compuesto por la cadena de energía C6 y las ruedas guía, es resistente al desgaste, de bajo mantenimiento y especialmente duradero gracias al plástico de alto rendimiento utilizado. Las pruebas de laboratorio en colaboración con el Fraunhofer IPA confirman que el sistema alcanza la clase de sala limpia ISO 1 a una velocidad de 0,5 m/s. igus quiere seguir superando los límites técnicos en cuanto a velocidades mayores y trayectorias más largas en el futuro.


igus SE & Co. KG
51147 Köln
Alemania


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