<translatetext>Höchste Reinheit auf langen Wegen mit neuartiger Reinraum-Energieführungslösung von igus</translatetext>

De C6-energiekabelgoot in combinatie met het nieuwe e-spin bovengeleidingsrad zorgt voor een betrouwbare energie- en gegevensvoorziening bij minimale deeltjesemissie – en dat over bedrijfsbanen tot 30 m. (Bron: igus SE & Co. KG)

Of het nu gaat om micro-elektronica, halfgeleider- of batterijproductie, overal draait het om stofvrijheid en maximale procesveiligheid. Met toenemende automatisering en voortdurend groeiende installaties worden ook de routes voor het materiaaltransport langer. Een centrale uitdaging hierbij is het garanderen van een betrouwbare energie- en datalevering met minimale stofemissie. Stroomscholen dragen geen data over, energieketens vereisen meestal complexe afzuigsystemen voor microdeeltjes. Met de door Fraunhofer IPA volgens ISO klasse 1 gecertificeerde C6-energieketen in combinatie met het nieuwe e-spin bovengeleidingsrad biedt igus hiervoor nu een oplossing. Het systeem maakt een compacte en duurzame energiegeleiding mogelijk in cleanrooms – ook op trajecten tot 30 m.

In moderne halfgeleiderfabrieken doorlopen siliciumwafers talloze processtappen – van lithografie via etsen tot metallisering. Vanwege de strenge eisen aan netheid en stofvrijheid is handmatig transport binnen de cleanroom niet praktisch. In plaats daarvan nemen steeds vaker geautomatiseerde systemen het veilige en efficiënte transport van wafers in kasten over lange afstanden over. Bijvoorbeeld via overhead hoist transport (OHT), een railsysteem dat de kasten onder het plafond beweegt. Dit bespaart cleanroomruimte, maar vormt een uitdaging voor ontwerpers: de voorziening van de OHT van stroom en data. “Stroomscholen dragen geen data over en zijn onderhoudsintensief. Energieketens vereisen meestal een complex afzuigsysteem voor deeltjes. De behoefte aan een cleanroomgeschikte, duurzame en kosteneffectieve alternatief is dan ook groot,” legt Kira Weller uit, productmanager e-ketens en cleanroomexpert bij igus.

Rollen in plaats van glijden met het nieuwe e-spin geleidingssysteem

Om het dilemma op te lossen, heeft igus voor de C6-cleanroom-energieketen een bijzonder geleidingssysteem ontwikkeld, genaamd e-spin. Het bestaat uit geleidingswielen die, net als alle igus energieketens, gemaakt zijn van tribologisch, dat wil zeggen op wrijving en slijtage geoptimaliseerd hoogwaardig kunststoffen. De wielen zitten tussen de boven- en ondergeleider van de energieketen. De ketendeelstukken rollen daardoor op elkaar in plaats van te glijden – en dat zonder verdere stofemissie. “Dankzij het e-spin systeem kunnen de energieketens zonder afzuiginrichting in de productie binnen een cleanroom worden gebruikt. Ontwerpers verminderen hiermee de complexiteit van de energiegeleiding van transportsystemen en besparen kosten,” zegt Kira Weller. Het energieketensysteem kan snel worden geconfigureerd via de e-keten experts op de website van igus. Tegelijkertijd is het systeem, bestaande uit C6-energieketen en geleidingswielen, door het gebruikte hoogwaardig kunststof slijtvast, onderhoudsarm en bijzonder duurzaam. Laboratoriumtests in samenwerking met Fraunhofer IPA bevestigen: het systeem bereikt bij een snelheid van 0,5 m/s de hoogste cleanroomklasse ISO 1. In de toekomst wil igus de technische grenzen verder verleggen op het gebied van hogere snelheden en langere trajecten.