Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions présente la nouvelle turbopompe ATH 4506 M

Avec une capacité d'aspiration de 4 500 l/s pour l'azote, la nouvelle turbopompe convient aux processus de fabrication de semi-conducteurs, aux revêtements de surfaces et à d'autres applications nécessitant un débit élevé de gaz, notamment lors de la évacuation de grandes chambres à vide pour la simulation spatiale.

Fonctionnement Plug&Play avec contrôleur intégré

La ATH 4506 M dispose d'un contrôleur intégré, ce qui rend superflues les unités de commande externes séparées, simplifie l'installation et réduit l'espace nécessaire pour la configuration du système. En seulement neuf minutes, la pompe à vide atteint sa vitesse maximale de 23 500 tours par minute (tpm), permettant un démarrage rapide des processus de fabrication. Un mode d'économie d'énergie réduit la consommation lors de l'inactivité, contribuant ainsi à un fonctionnement écoénergétique.

Gestion thermique adaptée aux exigences du processus

Selon les conditions du processus, des températures de fonctionnement différentes sont nécessaires. C'est pourquoi la ATH 4506 M est disponible en deux versions :

- Une version non chauffée pour des applications propres et résistantes à la corrosion, ne nécessitant pas de chauffage supplémentaire – par exemple dans le revêtement de surfaces.
- Une version équipée d'un système de gestion thermique (TMS) jusqu'à 90 °C pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres processus corrosifs, où un chauffage modéré empêche la condensation et la formation de particules.

En ajustant la température de la pompe à vide en fonction du processus, la ATH 4506 M minimise la condensation et l'accumulation de particules à l'intérieur de la pompe, réduit l'usure des composants internes et évite les arrêts imprévus. Cela conduit à une fiabilité accrue, une qualité de produit constante et des coûts d'exploitation globaux plus faibles pour l'utilisateur.

Surveillance de l'état et intégration numérique

La ATH 4506 M est équipée de capteurs internes pour surveiller la température, les conditions de lavage, la vitesse de rotation et le mouvement hors-axial. Grâce à ces mesures, l'opérateur peut surveiller en temps réel l'état de la pompe à vide et détecter précocement toute anomalie. Cela aide à éviter les arrêts imprévus et facilite la maintenance prédictive. Étant compatible avec l'IoT, la pompe peut être connectée à des systèmes de surveillance numériques et intégrée dans des environnements de production automatisés.

Avec une protection IP54, la pompe à vide est protégée contre la poussière et les projections d'eau. Cela augmente sa résistance dans des environnements industriels exigeants et prolonge sa durée de vie.