Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions presenteert de nieuwe turbopomp ATH 4506 M

Met een zuigvermogen van 4.500 l/s voor stikstof is de nieuwe turbopomp geschikt voor processen in de halfgeleiderproductie, oppervlaktebehandeling en andere toepassingen waarbij een hoog gasdoorlaat nodig is, bijvoorbeeld bij het evacueren van grote vacuümkamers voor ruimte-simulaties.

Plug&Play-bedrijf met geïntegreerde controller

De ATH 4506 M beschikt over een geïntegreerde controller, waardoor aparte externe besturingsunits overbodig zijn, de installatie wordt vereenvoudigd en de ruimte voor systeeminstellingen wordt verminderd. In slechts negen minuten bereikt de vacuümpomp haar volledige toerental van 23.500 rpm, zodat productieprocessen snel kunnen starten. Een energiebesparingsmodus verlaagt het energieverbruik bij inactiviteit en draagt zo bij aan een energie-efficiënte werking.

Temperatuurbeheer afgestemd op procesvereisten

Afhankelijk van de procescondities zijn verschillende bedrijfstemperaturen vereist. Daarom is de ATH 4506 M verkrijgbaar in twee uitvoeringen:

– Een ongewarmde variant voor schone, corrosievrije toepassingen die geen extra verwarming nodig hebben – bijvoorbeeld in oppervlaktebehandeling.
– Een uitvoering met een temperatuurbeheersysteem (TMS) tot 90 °C voor de halfgeleiderproductie en andere corrosieve processen, waarbij een gematigde verwarming condensatie en deeltjesvorming voorkomt.

Door de temperatuur van de vacuümpomp aan te passen aan het proces, minimaliseert de ATH 4506 M condensatie en deeltjesophoping in de binnenkant van de pomp, vermindert slijtage van interne onderdelen en voorkomt onvoorziene stilstand. Dit leidt tot hogere betrouwbaarheid, constante productkwaliteit en lagere totale bedrijfskosten voor de gebruiker.

Statusbewaking en digitale integratie

De ATH 4506 M is uitgerust met interne sensoren voor het bewaken van temperatuur, spoelcondities, toerental en axiale beweging. Op basis van deze metingen kan de operator de toestand van de vacuümpomp in realtime monitoren en zo afwijkingen vroegtijdig detecteren. Dit helpt onvoorziene stilstand te voorkomen en vergemakkelijkt voorspellend onderhoud. Omdat de vacuümpomp IoT-compatibel is, kan deze worden aangesloten op digitale bewakingssystemen en zo worden geïntegreerd in geautomatiseerde productieomgevingen.

Met de beschermingsklasse IP54 is de vacuümpomp beschermd tegen stof en spuitwater. Dit verhoogt haar weerstand in veeleisende industriële omgevingen en verlengt haar levensduur.