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Caractérisation optique au niveau des wafers de la dynamique MEMS avec traitement automatique des cartes de wafers, gestion des recettes et intégration en salle blanche dans des flux de travail contrôlés par la fabrication.
Analyse de vibrations MEMS entièrement automatisée en salle blanche : Polytec Micro System Analyzer désormais certifié ISO-3 avec automatisation par script
Avec les analyseurs de micro-systèmes (MSA-600, MSA-650 IRIS, MSA-100-3D), Polytec s'adresse depuis des années à la caractérisation sans contact de la dynamique et de la topographie des MEMS – du seul die au niveau de la plaquette sur des stations d'échantillonnage. La dernière extension com…
