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Caratterizzazione ottica a livello di wafer dei MEMS dinamici con elaborazione automatica delle mappe dei wafer, controllo delle ricette e integrazione in ambienti di produzione in workflow gestiti in fab.
Analisi delle vibrazioni MEMS completamente automatizzata in ambiente sterile: Polytec Micro System Analyzer ora con certificazione ISO-3 e automazione degli script
Con gli Micro System Analyzern (MSA-600, MSA-650 IRIS, MSA-100-3D), Polytec si rivolge da anni alla caratterizzazione senza contatto della dinamica e della topografia dei MEMS – dal singolo chip al livello wafer su stazioni di prova. L'attuale ampliamento combina questa tecnologia di misurazione o…
