-
- Produkty, zařízení, systémy, zařízení pro aplikace
Optická charakterizace MEMS dynamiky na úrovni waferu s automatickým zpracováním map waferu, řízením receptur a integrací do čistírenských pracovních toků řízených fabem.
Plně automatizovaná analýza vibrací MEMS v čistém prostoru: Polytec Micro System Analyzer nyní s certifikací ISO-3 a skriptovou automatizací
Systémy analýzy mikro systémů (MSA-600, MSA-650 IRIS, MSA-100-3D) společnost Polytec již léta zaměřují na bezkontaktní charakterizaci dynamiky a topografie MEMS – od jednotlivých čipů po wafer na zkušebních stanicích. Aktuální rozšíření kombinuje tuto optickou měřicí tech…








