Composants miniaturisés du Fraunhofer IPMS

Vue dans la salle blanche de 200 mm du Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS / Salle blanche de 200 mm au Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS

Contrôle de qualité d'une plaquette traitée. © Fraunhofer IPMS / Gestion de la qualité en ligne des plaquettes traitées. © Fraunhofer IPMS

Les composants électroniques hautement sensibles sont les moteurs de notre monde numérisé. Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) ouvrent de nouvelles possibilités en matière de miniaturisation dans des domaines d'application étendus. Le Fraunhofer IPMS propose, avec sa salle blanche ultramoderne de 200 mm, toute la chaîne de valeur pour les MEMS ainsi que pour les composants optiques MOEMS (systèmes micro-optoélectromécaniques). L'offre va de la consultation sur la faisabilité à la première démonstration au niveau wafer, jusqu'à la fabrication pilote avec une capacité de production de plus de 1100 wafers par mois.

Sous le slogan « Intelligent Sensing for Better and Smarter Living », le Fraunhofer IPMS présente lors du MEMS Summit de cette année à Grenoble son expertise complète dans le domaine de la microélectronique de 200 mm. Outre la conception, le développement et la fabrication de composants MEMS et MOEMS, le Fraunhofer IPMS possède le savoir-faire pour la fabrication de wafers BSOI personnalisés, la caractérisation électrique des composants, et développe par la suite des solutions d'emballage adaptées à la fabrication. Pour les clients, notamment les start-ups, les PME et les entreprises de marchés de niche sans propre fabrication de silicium (Fab), cela permet d’accéder à une haute technologie.

Soutenabilité dans la fabrication de la microélectronique

Le changement climatique ne laisse pas non plus l'industrie des semi-conducteurs indemne. C’est pourquoi le Fraunhofer IPMS met l’accent sur des chaînes de valeur durables et des dispositifs, en évaluant par exemple des alternatives respectueuses du climat pour les matériaux et processus critiques. Dans le cadre du projet « GreenICT », en collaboration avec des partenaires de la Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD), la minimisation des ressources dans la production électronique est encouragée. Le Fraunhofer IPMS se concentre, en plus des systèmes de capteurs économes en énergie pour l’Edge-Cloud et des infrastructures de communication, sur une production de microélectronique optimisée en ressources.

Grâce à son expertise, le Fraunhofer IPMS offre une large gamme de services complets pour les fabricants d’équipements, de circuits intégrés et de matériaux, afin de réaliser une production électronique respectueuse de l’environnement et optimisée en ressources. Dans le domaine du traitement, l’institut soutient ses clients par des services de conseil et de développement visant à optimiser l’utilisation des ressources, notamment dans la lithographie et les processus humides. Cela inclut l’étude de matériaux alternatifs (par exemple, l’étude de suspensions sans cérioxide pour les processus CMP) et la réduction de leur consommation, ainsi que l’optimisation de la consommation d’énergie pour réduire l’impact CO2.

Participation au MEMS & Imaging Sensors Summit 2022

Jörg Amelung, directeur adjoint de l’institut Fraunhofer IPMS, parlera des dispositifs innovants lors de la conférence « Fast Characterization of Hydrogen-Natural Gas Mixtures With Micromachined Ultrasonic Sensors ». La présentation débutera le 7 septembre à 14h40. Ensuite, il sera possible d’échanger avec des experts du Fraunhofer IPMS au stand n°37.