Miniaturisierte Bauelemente des Fraunhofer IPMS

Inzicht in de 200-mm-steriele ruimte van het Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS / 200-mm-cleanroom bij Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS

Kwaliteitscontrole van een verwerkte wafer. © Fraunhofer IPMS / Inline-kwaliteitsbeheer van verwerkte wafers. © Fraunhofer IPMS

Hochgevoelige elektronische componenten zijn de drijvende kracht achter onze gedigitaliseerde wereld. Micro-elektro-mechanische systemen (MEMS) openen nieuwe mogelijkheden op het gebied van miniaturisering in uitgebreide toepassingsgebieden. Het Fraunhofer IPMS biedt met zijn ultramoderne 200-mm cleanroom de volledige waardeketen voor MEMS en optische componenten MOEMS (Micro-Opto-Elektro-Mechanische Systemen). Het aanbod varieert van advies over haalbaarheid tot de eerste demonstratie op waferniveau en tot pilotproductie met een productiecapaciteit van meer dan 1100 wafers per maand.

Onder het motto »Intelligent Sensing for Better and Smarter Living« presenteert het Fraunhofer IPMS op de MEMS Summit in Grenoble zijn uitgebreide expertise op het gebied van de 200-mm micro-elektronica. Naast de conceptualisering, ontwikkeling en productie van MEMS- en MOEMS-componenten beschikt het Fraunhofer IPMS over de knowhow voor de fabricage van gepersonaliseerde BSOI-wafers, de elektrische karakterisering van componenten en ontwikkelt het passende verpakkingsoplossingen na de productie. Dit stelt klanten, met name start-ups, middelgrote bedrijven en ondernemingen in nichemarkten zonder eigen siliciumfabricage (Fab), in staat toegang te krijgen tot geavanceerde technologie.

Duurzaamheid in de micro-elektronica-productie

De klimaatverandering houdt ook niet halt in de halfgeleiderindustrie. Daarom legt het Fraunhofer IPMS de nadruk op duurzame waardeketens en apparaten en evalueert het bijvoorbeeld milieuvriendelijke alternatieven voor kritische materialen en processen. In het project »GreenICT« wordt samen met partners van de Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) de minimalisering van hulpbronnen in de elektronica-productie bevorderd. Het Fraunhofer IPMS richt zich naast energiezuinige sensor-Edge-Cloud-systemen en communicatienfrastructuren vooral op een hulpbronnenoptimale micro-elektronica-productie.

Door zijn expertise biedt het Fraunhofer IPMS een breed scala aan uitgebreide diensten voor fabrikanten van apparatuur, IC's en materialen om een hulpbronnenoptimale en milieuvriendelijke elektronica-productie te realiseren. Op het gebied van procesoptimalisatie ondersteunt het instituut zijn klanten met advies- en ontwikkelingsdiensten met als doel hulpbronnen te besparen, met name op het gebied van lithografie en natte processen. Dit omvat zowel het onderzoeken van alternatieve materialen (bijvoorbeeld het onderzoeken van ceroxidvrije slurry's voor CMP-processen) en het verminderen van het verbruik alsook het optimaliseren van het energieverbruik om de CO2-impact te verminderen.

Optreden op de MEMS & Imaging Sensors Summit 2022

Jörg Amelung, plaatsvervangend directeur van het Fraunhofer IPMS, zal spreken over baanbrekende apparaten in zijn presentatie »Fast Characterization of Hydrogen-Natural Gas Mixtures With Micromachined Ultrasonic Sensors«. De presentatie begint op 7 september om 14:40 uur. Aansluitend is er gelegenheid om met experts van het Fraunhofer IPMS in gesprek te gaan bij stand #37.