Miniaturní prvky Fraunhofer IPMS

pohled do 200mm čistírny Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS / 200mm čistírna ve Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS

Kontrola kvality zpracovaného waferu. © Fraunhofer IPMS / Inline management kvality zpracovaného waferu. © Fraunhofer IPMS

Vysoce citlivé elektronické součástky jsou hnací silou našeho digitalizovaného světa. Mikro-elektro-mechanické systémy (MEMS) otevírají nové možnosti v miniaturizaci v široké škále aplikací. Fraunhofer IPMS nabízí se svým vysoce moderním čistým prostorem o velikosti 200 mm kompletní hodnotový řetězec pro MEMS a optické součástky MOEMS (mikro-opto-elektro-mechanické systémy). Nabídka sahá od poradenství ohledně proveditelnosti přes první demonstraci na úrovni waferu až po pilotní výrobu s kapacitou výroby více než 1100 waferů za měsíc.

Pod heslem „Inteligentní senzoring pro lepší a chytřejší život“ představí Fraunhofer IPMS na letošním MEMS Summitu v Grenoblu své komplexní odborné znalosti v oblasti mikroelektroniky o velikosti 200 mm. Kromě koncepce, vývoje a výroby MEMS a MOEMS součástek má Fraunhofer IPMS know-how pro výrobu individualizovaných BSOI waferů, elektrickou charakterizaci součástek a následný vývoj vhodných balicích řešení. To umožňuje zákazníkům, zejména start-upům, středním podnikům a firmám na niche trzích bez vlastního křemíkového výrobního závodu (fab), přístup k vysokým technologiím.

Udržitelnost ve výrobě mikroelektroniky

Globální oteplování se nevyhýbá ani průmyslu polovodičů. Proto klade Fraunhofer IPMS důraz na udržitelné hodnotové řetězce a zařízení a například hodnotí klimaticky šetrné alternativy kritických materiálů a procesů. V projektu „GreenICT“ je ve spolupráci s partnery z Výzkumné továrny mikroelektroniky Německa (FMD) podporováno minimalizování zdrojů při výrobě elektroniky. Fraunhofer IPMS se kromě energeticky úsporných senzorových edge-cloud systémů a komunikační infrastruktury zaměřuje především na optimalizaci mikroelektronické výroby s ohledem na zdroje.

Svou expertizou nabízí Fraunhofer IPMS široké spektrum komplexních služeb pro výrobce zařízení, IC a materiálů, aby umožnil realizaci zdrojově optimalizované a ekologické výroby elektroniky. V oblasti zpracování podporuje institut své zákazníky poradenskými a vývojovými službami s cílem optimalizace zdrojů, zejména v oblasti litografie a mokrých procesů. To zahrnuje jak zkoumání alternativních materiálů (například zkoumání ceroxid-free kalů pro CMP procesy) a jejich snižování spotřeby, tak optimalizaci spotřeby energie ke snížení dopadu na CO2.

Účast na MEMS & Imaging Sensors Summit 2022

O budoucích zařízeních bude hovořit Jörg Amelung, zástupce ředitele institutu Fraunhofer IPMS, ve své přednášce „Rychlá charakterizace směsí vodíku a zemního plynu pomocí mikrofonických ultrazvukových senzorů“. Přednáška začíná 7. září v 14:40. Následně bude možnost setkat se s odborníky z Fraunhofer IPMS u stánku č. 37 a navázat diskusi.