Miniatürizált alkatrészek a Fraunhofer IPMS-től

Nézőpont a Fraunhofer IPMS 200 mm-es tisztatérjében. © Fraunhofer IPMS / 200 mm-es tisztatér a Fraunhofer IPMS-nél. © Fraunhofer IPMS

Minőségellenőrzés egy feldolgozott szilíciumlapkán. © Fraunhofer IPMS / Inline-minőségmenedzsment feldolgozott szilíciumlapok esetén. © Fraunhofer IPMS

Magas érzékenységű elektronikus alkatrészek hajtják a digitalizált világunkat. A Mikro- Elektromechanikus Rendszerek (MEMS) új lehetőségeket nyitnak a miniaturizáció terén széleskörű alkalmazási területeken. A Fraunhofer IPMS a legkorszerűbb 200 mm-es tisztatérrel kínál teljes értékláncot a MEMS és optikai alkatrészek MOEMS (Mikro-Opto-Elektro-Mechanikus Rendszerek) számára. Az ajánlat a megvalósíthatósági tanácsadástól kezdve az első demonstráción a wafer szinten, egészen a pilotgyártásig terjed, havi több mint 1100 wafer indítással.

A „Intelligens érzékelés a jobb és okosabb életért” mottóval a Fraunhofer IPMS bemutatja átfogó szakértelmét a 200 mm-es mikroelektronika területén a Grenoble-i MEMS Csúcson. A MEMS- és MOEMS-alkatrészek tervezése, fejlesztése és gyártása mellett a Fraunhofer IPMS rendelkezik azzal a know-how-val, hogy egyedi BSOI-wafereket gyártson, az alkatrészek elektromos jellemzőit meghatározza, és a gyártás után megfelelő csomagolási megoldásokat fejlesszen ki. Ez lehetővé teszi ügyfelek, különösen startupok, közepes vállalkozások és niche piacokon működő cégek számára, akik nem rendelkeznek saját szilícium-alapú gyártással (Fab), a hozzáférést a csúcstechnológiához.

Fenntarthatóság a mikroelektronikai gyártásban

A klímaváltozás a félvezetőipart sem kerülte el. Ezért a Fraunhofer IPMS a fenntartható értékláncokra és eszközökre helyezi a hangsúlyt, és például környezetbarát alternatívákat értékel kritikus anyagok és folyamatok számára. A „GreenICT” projektben a Mikroelektronika Németország Kutatógyárával (FMD) együttműködve törekszik az elektronikai gyártás erőforrás-minimalizálására. A Fraunhofer IPMS különösen az energiahatékony érzékelő-élő felhő rendszerek és kommunikációs infrastruktúrák mellett a forrásoptimalizált mikroelektronikai gyártásra összpontosít.

Szakértelmével a Fraunhofer IPMS széles kínálatot nyújt berendezés-, IC- és anyaggyártóknak az erőforrás- és környezetbarát elektronikai gyártás megvalósításához. A folyamatfejlesztés terén a kutatóintézet tanácsadási és fejlesztési szolgáltatásokkal támogatja ügyfeleit, különösen a litográfia és a nedves folyamatok területén az erőforrások optimalizálása érdekében. Ez magában foglalja alternatív anyagok (például a ceroxidmentes slurry-k vizsgálatát CMP-folyamatokhoz) kutatását és fogyasztásuk csökkentését, valamint az energiafogyasztás optimalizálását a CO2-kibocsátás csökkentése érdekében.

Jelenlét a MEMS & Imaging Sensors Summit 2022-en

Jörg Amelung, a Fraunhofer IPMS helyettes igazgatója, a „Gyors jellemzés hidrogén-természetes gázkeverékek ultrahangos érzékelőkkel” című előadásában beszél majd a jövőbe mutató eszközökről. Az előadás szeptember 7-én 14:40-kor kezdődik. Ezután lehetőség nyílik arra, hogy a Fraunhofer IPMS szakértőivel a #37-es standnál beszélgessenek.