Chambre blanche Rotomat® optimise la production de wafers

Les supports de calotte pour les wafers sont stockés dans le Rotomat® CleanStore en salle blanche jusqu'à leur utilisation dans le système de vaporisation.

Grâce à l'étagère tournante de Hänel, la surface de stockage nécessaire dans la salle blanche a pu être maintenue, et cela avec une triplication de la capacité de stockage, passant de 12 à 36 porte-wafers en forme de calotte.

Les systèmes de préparation automatisés deviennent de plus en plus indispensables. Sur le site de Lenzburg, ABB Suisse AG optimise même sa production de wafers en salle blanche avec une armoire tournante automatisée. Sur une surface réduite, un Rotomat® spécialement développé par Hänel pour la salle blanche optimise efficacement l'espace de stockage.

Dans le domaine de l'énergie et de l'automatisation, la gamme de produits ABB est immense. Parmi eux, le groupe conçoit et produit des équipements allant des appareillages haute tension aux semi-conducteurs de haute performance microscopiques. Les technologies innovantes et la fiabilité élevée des produits assurent à ABB une position de leader sur le marché mondial.

Sur le site de Lenzburg, ABB Suisse AG développe, produit et commercialise des systèmes de réseaux électriques, des semi-conducteurs et des composants haute performance. La tâche principale en salle blanche consiste à empêcher l'adhésion de particules dans tous les états de fonctionnement.

Le Process Engineer d'ABB, Eustachio Faggiano, explique : « Le système de stockage tournant automatisé développé par Hänel pour la salle blanche ne présente ni bavures ni fentes. Les surfaces sont lisses et faciles à nettoyer avec des solutions d'isopropanol. » Faggiano est le responsable du gestionnaire de levage industriel Rotomat® CleanStore de Hänel, installé en salle blanche, qui répond à la classe de propreté 5 selon DIN EN ISO 14644-1 avec une classe de filtre HEPA H14. Même la consignation des valeurs de mesure est possible en option avec ce levage industriel Rotomat® à l'aide de enregistreurs de données. Hänel a conçu ce système de stockage high-tech spécialement pour les salles blanches comme un système autonome. Grâce à sa conception à double paroi, l'air dans un filtre est directement purifié dans l'armoire tournante. Ainsi, aucune particule ne peut pénétrer dans la salle blanche. Faggiano ajoute : « Après le chargement des porte-wafers avec des wafers, ceux-ci sont stockés dans le Rotomat® CleanStore jusqu'à leur utilisation dans l'installation de vaporisation. Entre-temps, les wafers ne doivent pas entrer en contact avec des particules. »

De plus, les calottes vides ne doivent pas non plus être contaminées par des particules de poussière. Elles sont donc également conservées dans l'armoire tournante. Ainsi, dans le nouveau stockage high-tech, un maximum de porte-wafers est logé de manière compacte et protégée sur une petite surface.

Conclusion

Le principe du Hänel CleanStore repose sur une technologie à double paroi sophistiquée combinée à des systèmes de filtration et de ventilation. La technologie compacte Rotomat® constitue un concept de stockage efficace et a été développée par Hänel pour les salles blanches.

Le Rotomat® CleanStore est utilisé de manière flexible et économique aussi bien dans l'industrie électronique et des semi-conducteurs que dans la technologie médicale. Toutes les pièces sont protégées et stockées selon des directives strictes pour les salles blanches. La manipulation du levage industriel Hänel Rotomat® est simple. Grâce à sa conception compacte, aucune modification structurelle n'est nécessaire. De plus, les courts délais de stockage et d'accès permettent d'économiser efficacement sur les coûts de stockage.

Chez ABB Lenzburg, les porte-wafers étaient auparavant stockés dans une armoire à étagères conventionnelle. Grâce au système de préparation automatisé et compact CleanStore, spécialement développé par Hänel pour la salle blanche, la surface de stockage pour les wafers a été maintenue, tout en triplant la capacité de stockage, passant de 12 à 36 porte-wafers.