Cleanroom Rotomat® geoptimaliseerd waferproductie

De kalottendragers voor de wafers worden in de cleanroom Rotomat® CleanStore opgeslagen totdat ze worden gebruikt in de stoominstallatie.

Door het circulaire rek van Hänel kon de benodigde opslagvloeroppervlakte in de cleanroom behouden blijven en dat met een verdrievoudiging van de opslagcapaciteit van 12 naar 36 wafers-ellipsoïddragers.

Geautomatiseerde orderverzamelsystemen worden steeds onmisbaarder. Op de locatie Lenzburg optimaliseert ABB Schweiz AG zelfs in de cleanroom haar waferproductie met een geautomatiseerd circulatiesysteem. Op een kleine vloeroppervlakte verdicht een door Hänel speciaal voor de cleanroom ontwikkelde Rotomat® efficiënt de opslagruimte.

In de energie- en automatiseringstechniek is het assortiment van ABB-producten enorm. Onder andere ontwikkelt en produceert de groep producten van hoogspanningsschakelinstallaties tot microscopische hoogvermogen-halfgeleiders. De vooruitstrevende technologieën en de hoge betrouwbaarheid van de producten zorgen ervoor dat ABB een leidende positie inneemt op de wereldmarkt.

Op de locatie Lenzburg ontwikkelt, produceert en verkoopt ABB Schweiz AG netwerksystemen, halfgeleiders en hoogvermogen-halfgeleiders. De belangrijkste taak in de cleanroom is het voorkomen van de adhesie van deeltjes in alle bedrijfsomstandigheden.

ABB Process Engineer Eustachio Faggiano verduidelijkt: „Het door Hänel speciaal voor de cleanroom ontwikkelde geautomatiseerde circulatieopslag heeft geen bramen en spleten. De oppervlakken zijn glad en gemakkelijk te reinigen met isopropanoloplossingen.“ Faggiano is de verantwoordelijke manager voor de geïnstalleerde industriële lift Rotomat® CleanStore van Hänel, die voldoet aan klasse 5 volgens DIN EN ISO 14644-1 met filterklasse HEPA H14. Zelfs de registratie van meetwaarden is optioneel mogelijk bij deze Rotomat® industriële lift via dataloggers. Hänel heeft dit hightech-magazijn speciaal ontwikkeld voor cleanrooms als een afgesloten systeem. Door de dubbele wanduitvoering wordt de lucht in een filter direct in de circulatieopslag gereinigd. Zo kunnen geen deeltjes in de cleanroom komen. Faggiano voegt toe: „Na het beladen van de kalottendragers met wafers worden deze in de Rotomat® CleanStore zo lang opgeslagen totdat ze in de bedampingsinstallatie worden gebruikt. De wafers mogen in de tussentijd niet in contact komen met deeltjes.“

Verder mogen de lege kalotten ook niet worden vervuild door stofdeeltjes. Daarom worden ze ook in de circulatieopslag bewaard. Zo worden in het nieuwe hightech-magazijn op een kleine vloeroppervlakte zoveel mogelijk kalottendragers compact en beschermd ondergebracht.

Conclusie

Het Hänel CleanStore-principe is gebaseerd op een verfijnde dubbele wand-technologie in combinatie met filter- en ventilatiesystemen. De ruimtebesparende Rotomat®-technologie vormt een effectief opslagconcept en is door Hänel verder ontwikkeld voor cleanrooms.

De Rotomat® CleanStore wordt zowel in de elektronica- en halfgeleiderindustrie als in de medische techniek flexibel en kosteneffectief ingezet. Alle onderdelen zijn beschermd en volgens gedefinieerde cleanroom-richtlijnen opgeslagen. De bediening van de Hänel Rotomat® industriële lift is eenvoudig. Door de compacte bouwwijze hoeven geen bouwkundige aanpassingen te worden gedaan. Bovendien worden door de korte opslag- en toegangstijden effectief kosten bespaard op de opslag.

Bij ABB Lenzburg werden de wafer-kalotten eerder opgeslagen in een conventioneel vakkenrek. Dankzij het speciaal door Hänel voor de cleanroom ontwikkelde, compacte en geautomatiseerde orderverzamelsysteem CleanStore bleef de vloeroppervlakte voor de waferopslag gelijk, terwijl de opslagcapaciteit verdrievoudigde van 12 naar 36 wafer-kalottendragers.