Reinraum Rotomat® optimalizuje výrobu waferů

Kalotové nosiče pro wafer jsou skladovány v čistém prostředí Rotomat® CleanStore, dokud nejsou použity v zařízení na napařování.

Pomocí otočného regálu od Hänel bylo možné zachovat požadovanou skladovací plochu v čistém prostoru a to při ztrojnásobení skladovací kapacity z 12 na 36 držáků na waferové kaloty.

Automatizované systémy skladování se stávají stále nepostradatelnějšími. Na místě v Lenzburgu optimalizuje ABB Švýcarsko AG svou výrobu waferů dokonce i v čistém prostoru pomocí automatizované oběžné police. Na malé ploše se efektivně zvyšuje skladovací kapacita pomocí Rotomat® speciálně vyvinutého Hänel pro čisté prostory.

V oblasti energetiky a automatizace je nabídka produktů ABB nesmírná. Společnost mimo jiné vyvíjí a vyrábí produkty od vysokonapěťových spínacích zařízení po mikroskopické vysokovýkonné polovodiče. Přelomové technologie a vysoká spolehlivost produktů zajišťují ABB vedoucí postavení na světovém trhu.

Na místě v Lenzburgu vyvíjí, vyrábí a prodává ABB Švýcarsko AG systémy pro elektrické sítě, polovodiče a vysokovýkonné polovodiče. Hlavním úkolem v čistém prostoru je zabránit přilnavosti částic ve všech provozních stavech.

ABB Process Engineer Eustachio Faggiano vysvětluje: „Automatizovaná oběžná police, kterou vyvinul Hänel speciálně pro čisté prostory, nemá žádné hrany ani spáry. Povrchy jsou hladké a snadno se čistí izopropanolovými roztoky.“ Faggiano je odpovědným manažerem za instalovaný průmyslový zvedák Rotomat® CleanStore od Hänel, který splňuje čistotu třídy 5 podle DIN EN ISO 14644-1 s filtrační třídou HEPA H14. Dokonce je možné u tohoto průmyslového zvedáku Rotomat® volitelně zaznamenávat měřené hodnoty pomocí dataloggerů. Hänel tento high-tech sklad navrhl speciálně pro čisté prostory jako uzavřený systém. Díky dvojité konstrukci je vzduch v oběžné polici přímo čištěn filtrem. Tím se zabrání vniknutí částic do čistého prostoru. Faggiano dodává: „Po naložení kalotových nosičů s wafery jsou tyto v Rotomat® CleanStore skladovány, dokud nejsou použity v zařízení pro napařování. Mezitím wafery nesmějí přijít do kontaktu s částicemi.“

Navíc nesmějí být prázdné kaloty kontaminovány prachovými částicemi. Proto jsou také skladovány v oběžné polici. Tak je v novém high-tech skladu na malé ploše možné co nejefektivněji uložit co nejvíce kalotových nosičů v kompaktním a chráněném uspořádání.

Závěr

Princip Hänel CleanStore je založen na propracované technologii dvojité stěny ve spojení s filtračními a větracími systémy. Úsporná technologie Rotomat® představuje efektivní skladovací koncept a byla Hänel vyvinuta speciálně pro čisté prostory.

Rotomat® CleanStore je flexibilně a ekonomicky využíván jak v elektronickém a polovodičovém průmyslu, tak v lékařské technice. Všechny části jsou chráněny a skladovány podle definovaných směrnic pro čisté prostory. Obsluha Hänel Rotomat® průmyslového zvedáku je jednoduchá. Díky kompaktní konstrukci není nutno provádět žádné stavební úpravy. Navíc díky krátkým dobám ukládání a přístupu jsou efektivně snižovány náklady na skladování.

V ABB Lenzburg byly wafery a kaloty dříve skladovány v běžném regálu s policemi. Díky speciálně vyvinutému, kompaktnímu a automatizovanému systému skladování CleanStore od Hänel byla plocha pro skladování waferů zachována při trojnásobném zvýšení kapacity z 12 na 36 kalotových nosičů waferů.