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Foto des Veeco 300-mm-Oxid-Systems für Hybrid-MBE-BTO auf Silizium-Epitaxie. / Photos of the Veeco 300mm oxide system for hybrid-MBE BTO on Silicon epitaxy. Querschnittsbild einer TEM-Aufnahme der BaTiO3/SrTiO3/Si(001)-Heterostruktur mit Ausschnittsvergrößerungen mittels hochauflösender Mikroskopie und Rasterkraftmikroskopie. / Cross-sectional Transmission Electronic Microscopy image of the BaTiO3/SrTiO3/Si(001) heterostructure with high-resolution micrograph and atomic force micrograph images in inset.
  • Elektronik (Wafer, Halbleiter, Mikrochips,...)

Einzigartige Lösung für die Epitaxie von Bariumtitanat auf Silizium zur Beschleunigung von Datacom- und Quantencomputing-Anwendungen

Veeco und imec entwickeln einen 300-mm-kompatiblen Prozess, um die Integration von Bariumtitanat in Siliziumphotonik zu ermöglichen

Veeco Instruments Inc. (Nasdaq: VECO) und imec gaben bekannt, dass sie gemeinsam einen für die Massenproduktion geeigneten 300-mm-Prozess entwickelt haben, der die Integration von Bariumtitanat (BaTiO3 oder BTO) auf einer Silizium-Photonik-Plattform ermöglicht. BTO ist ein vielversprechendes Materia…

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