-
- Elektronika (wafer, polovodiče, mikročipy,...)
Významný krok na cestě do éry Ångströmu
Imec obdrží nejmodernější High-NA-EUV systém na světě
â Imec oznamuje, že systém ASML EXE:5200, nejpokročilejší EUV litografický systém s vysokou numerickou aperturou (High NA) na světě, dorazil do svého čistého prostoru o velikosti 300 mm v Leuvenu.
â Použití systému High-NA-EUV v přímé kombinaci s nejmodernějšími měřicími a strukturujícími zařízením…








