GEMÜ C60 mit erweiterten Steuerdruckbereichen

Mit erweiterten Steuerdruckbereichen vereinfacht GEMÜ die Integration des pneumatisch betätigten 2/2-Wege-Membranventils GEMÜ C60 in Anlagen der Halbleiterindustrie. Die erforderlichen Steuerdrücke richten sich nach Antriebsgröße und Steuerfunktion. So lässt sich die Druckversorgung gezielt auf das jeweilige Anlagenkonzept abstimmen. Das speziell für High-Purity-Anwendungen entwickelte GEMÜ C60 kommt insbesondere in der Versorgungs- und Verteilungsebene moderner Halbleiterfabriken zum Einsatz. Für die verschiedenen Antriebsgrößen gelten nachfolgend aufgelistete Steuerdruckbereiche.

Steuerdruckbereiche für unterschiedliche Steuerfunktionen

Bei der NC-Variante (Normally Closed, im Ruhezustand geschlossen) liegt der Steuerdruck je nach Antriebsgröße bei 4 bis 7 bar, 4,5 bis 7 bar oder 5 bis 7 bar. Bei der NO-Variante (Normally Open, im Ruhezustand geöffnet) beträgt der Steuerdruck für die Antriebsgrößen 1 bis 3 maximal 5 bar. Für Antriebsgröße 4 gilt ein maximaler Steuerdruck von 4,5 bar. Darüber hinaus hat GEMÜ die Arretierung des Schauglases optimiert und damit dessen sicheren Sitz im Antriebsgehäuse verbessert.