GEMÜ C60 z rozszerzonymi zakresami ciśnienia sterującego

Dzięki rozszerzonym zakresom ciśnienia sterującego firma GEMÜ upraszcza integrację pneumatycznie uruchamianego 2/2-drogowego zaworu membranowego GEMÜ C60 w instalacjach przemysłu półprzewodników. Wymagane ciśnienie sterujące zależy od rozmiaru napędu i funkcji sterowania. Dzięki temu doprowadzenie sprężonego powietrza można precyzyjnie dostosować do konkretnej koncepcji instalacji. Opracowany specjalnie do zastosowań high-purity zawór GEMÜ C60 znajduje zastosowanie przede wszystkim na poziomie zasilania i dystrybucji w nowoczesnych fabrykach półprzewodników. Poniżej przedstawiono zakresy ciśnienia sterującego obowiązujące dla poszczególnych rozmiarów napędu.

Zakresy ciśnienia sterującego dla różnych funkcji sterowania

W wersji NC (Normally Closed, zamkniętej w stanie spoczynku) ciśnienie sterujące wynosi, w zależności od rozmiaru napędu, 4–7 bar, 4,5–7 bar lub 5–7 bar. W wersji NO (Normally Open, otwartej w stanie spoczynku) maksymalne ciśnienie sterujące dla rozmiarów napędu od 1 do 3 wynosi 5 bar. Dla rozmiaru napędu 4 obowiązuje maksymalne ciśnienie sterujące wynoszące 4,5 bar. Ponadto firma GEMÜ zoptymalizowała mocowanie wziernika, poprawiając tym samym jego stabilne osadzenie w obudowie napędu.