GEMÜ C60 bővített vezérlőnyomás-tartományokkal

A megnövelt vezérlőnyomás-tartományokkal a GEMÜ megkönnyíti a pneumatikusan működtetett, 2/2-utú GEMÜ C60 membránszelep integrálását a félvezetőipari berendezésekbe. A szükséges vezérlőnyomások a hajtás méretétől és a vezérlési funkciótól függnek. Így a nyomásellátás célzottan az adott berendezés koncepciójához igazítható. A kifejezetten nagy tisztaságú alkalmazásokhoz kifejlesztett GEMÜ C60-at elsősorban a modern félvezetőgyárak ellátási és elosztási szintjén alkalmazzák. A különböző hajtásméretekre az alábbiakban felsorolt vezérlőnyomás-tartományok érvényesek.

Vezérlőnyomás-tartományok különböző vezérlési funkciókhoz

Az NC-változatnál (Normally Closed, nyugalmi állapotban zárt) a vezérlőnyomás a hajtás méretétől függően 4–7 bar, 4,5–7 bar vagy 5–7 bar. Az NO-változatnál (Normally Open, nyugalmi állapotban nyitott) az 1–3. hajtásméret esetében a vezérlőnyomás legfeljebb 5 bar. A 4. hajtásméretnél a maximális vezérlőnyomás 4,5 bar. Ezenkívül a GEMÜ optimalizálta a kémlelőablak rögzítését, ezáltal javította annak biztonságos illeszkedését a hajtásházban.