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Plasmaätzanlage im Zentrum für Nanophotonik wird mit 490.000 Euro runderneuert
DFG fördert nachhaltige Modernisierung zentraler Forschungsanlage der TU Berlin
Eine zentrale Forschungsanlage der Technischen Universität Berlin wird fit gemacht für die nächsten Jahrzehnte: Mit Unterstützung der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) und des Landes Berlin wird die Plasmaätzanlage im Reinraum des Zentrums für Nanophotonik mit einem Gesamtvolumen von etwa 490.0…








