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Alle Veröffentlichungen zur Rubrik Automation

LITHOSCALE® macht maskenbezogene Verbrauchsmaterialien überflüssig, während die einstellbare Festkörperlaser-Belichtungsquelle auf hohe Redundanz und lange Lebensdauer ausgelegt ist und praktisch keine Wartung und keine Neukalibrierung erfordert. / LITHOSCALE® eliminates mask-related consumables with its mask-free approach, while its tunable solid-state laser exposure source is designed for high redundancy and long life-time stability with virtually no maintenance and no re-calibration required. Das LITHOSCALE® Maskless Exposure System von EV Group macht die Vorteile der digitalen Lithographie in der Hochvolumenproduktion nutzbar. / The LITHOSCALE® maskless exposure system from EV Group brings the benefits of digital lithography to high-volume manufacturing.
  • Produktion & Ablauf

LITHOSCALE® Systeme auf Basis von EVGs MLE™ (Maskless Exposure) Technologie machen die Vorteile der digitalen Lithographie für ein breites Spektrum von Anwendungen und Märkten nutzbar

EV Group bringt maskenlose Lithographie mit LITHOSCALE® in die Hochvolumenproduktion

EV Group (EVG), ein führender Entwickler und Hersteller von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, stellte heute das maskenlose Belichtungssystem LITHOSCALE® vor - die erste Produktplattform auf Basis der revolutio…

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