-
- Elektronika (wafer, félvezető, mikrochipek,...)
Első elektromos tesztek 20 nm-es léptékben újabb mérföldkövet jelentenek a High NA extrém ultraibolya (EUV) mintázási ökoszisztéma validálásában
Imec mérte az elektromos teljesítőképességet az 20 nm-es pitch-mel rendelkező fémvezetékeken, amelyeket magas NA EUV egypatronálású technológiával készítettek
Ebben a héten az imec, a világ vezető kutatási és innovációs központ a nanoelektronika és digitális technológiák terén, bemutatja az első eredményeket az elektromos tesztből (e-teszt), amelyeket 20 nm-es pitch-mel rendelkező fémvezeték struktúrákkal értek el, strukturálva egyedi expozícióval a High…








