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Schwebekörper-Durchflussmesser
Nicht nur reinste Luft in den Wafer-Produktionsräumen, sondern auch ultrareines Wasser wird bei den Produktionsprozessen zur Chip-Herstellung benötigt. Deshalb setzt Semikron International Elektronik zur Sicherstellung des hohen Reinheitsgrades des verwendeten Wassers sogenannte Schwebekörper-Durchflussmesser ein. Hierbei handelt es sich um den Schwebekörper-Durchflussmesser H 250 ESK-Z der Krohne Messtechnik, der den momentanen Durchflusswert mit einer Genauigkeit von 1,6 % vom Messbereichsendwert anzeigt. Die Messwerte werden in die entsprechende Messwarte mit Fernablesemöglichkeit übertragen. Gleichzeitig wird von einem eingebauten Summenzähler der Gesamtdurchfluss addiert. Diese Durchflussmesser lassen kontruktionsbedingt keine Toträume entstehen und beeinträchtigen den Durchfluss in keiner Weise. Aufgrund der mechanischen Ausprägung und der eingesetzten 2-Leitertechnik wird eine statische Aufladung ausgeschlossen und es bedarf keiner zusätzlichen Stromversorgung. Dies trägt zu einer hohen Zuverlässigkeit und zu sicheren Ergebnissen bei. die Langlebigkeit des Durchflussmessers H 250 wurde auch dadurch unter Beweis gestellt, dass durchschnittlich alle vier Minuten das Gerät in Betrieb genommen wird und keine Wartung erforderlich ist.








