Lebegőtest-Áramlásmérő

Nemcsak a tiszta levegő szükséges a wafer-gyártási helyiségekben, hanem ultratiszta víz is a chipgyártási folyamatokhoz. Ezért a Semikron International olyan lebegőtest-áramlásmérőket alkalmaz a használt víz magas tisztasági szintjének biztosítása érdekében, mint például a Krohne Messtechnik H 250 ESK-Z típusú lebegőtest-áramlásmérőt, amely a pillanatnyi átfolyási értéket 1,6%-os pontossággal mutatja a mérési tartomány végértékéhez képest. A mérési eredményeket távoli olvasási lehetőséggel továbbítják a megfelelő mérőállomásra. Egyidejűleg egy beépített összesítő számláló összeadja az összes átfolyást. Ezek az áramlásmérők szerkezetileg nem hagynak holt térségeket, és semmilyen módon nem befolyásolják az átfolyást. A mechanikus kialakítás és az alkalmazott kétvezetékes technológia miatt kizárt a statikus töltődés, és nincs szükség külön áramellátásra. Ez hozzájárul a magas megbízhatósághoz és a biztonságos eredményekhez. A H 250 áramlásmérő tartósságát az is bizonyítja, hogy átlagosan minden négy percben üzembe helyezik, és nincs szükség karbantartásra.