WISAG provádí novou výstavbu a přestavbu čistírny na přibližně 4 000 metrů čtverečních

Čistý prostor třídy ISO 6 s částečným vybavením nástroji. (Zdroj: WISAG Industrie Service Holding GmbH, 2021)

Plénum nad čistírnou. (Zdroj: WISAG Industrie Service Holding GmbH, 2021)

Podružná rozvodná skříň pro zásobování nástroji v plénu. (Zdroj: WISAG Industrie Service Holding GmbH, 2021)

Pro Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS (Fraunhofer IPMS) převzala společnost WISAG Industrie Service Gruppe, jeden z předních průmyslových služeb v Německu, rekonstrukci stávajícího čistého prostoru a výstavbu nového stropu čistého prostoru. Kromě toho byla WISAG pověřena výstavbou klimaticky konstantního čistého prostoru pro komoru „E-Beam“ v oblasti plochy čistého prostoru.

„Nejprve jsme byli pověřeni rekonstrukcí na stávajícím čistém prostoru o rozloze přibližně 4 000 metrů čtverečních, včetně rekonstrukce a přestavby stropu čistého prostoru a technických vestaveb,“ popisuje Axel Tesch, inženýr prodeje ve společnosti WISAG Gebäude- und Industrieservice v Drážďanech. V následném zadání byla průmyslové službě svěřena výstavba klimaticky konstantního čistého prostoru v existujícím prostoru čistého prostoru. „V našem rozsahu služeb jsme nově vybudovali asi 800 metrů čtverečních stropu čistého prostoru, nainstalovali přibližně 500 filtrů-fan jednotek (FFU) a zhruba 200 FFU z existujícího zásobení upravili a vybavili novými filtry,“ shrnuje Tesch. Na místě bylo pro tento projekt nasazeno až dvacet montérů WISAG, čtyři technici pro uvedení do provozu, projektový manažer a jedna konstruktérka. Pro instalaci klimaticky konstantního čistého prostoru WISAG nainstalovala nový dvojitý podklad, stěny čistého prostoru s speciálním nátěrem, strop s osvětlením, FFU včetně přesných chladičů a plenum stropu.

Tato speciální oblast čistého prostoru byla vybudována pro E-beam. „Pro elektronový paprsek je nutné splnit speciální požadavky na klima (teplota a vlhkost), počet částic a vibrační oddělení,“ vysvětluje inženýr prodeje. „Aby mohl elektronový paprsek přesně pracovat, je potřeba čistý prostor třídy ISO 3 s konstantní teplotou 22°C +/- 0,05 K. Naším úkolem bylo integrovat další oblast čistého prostoru do již existujícího a provozovaného prostoru.“ Proto musel průmyslový dodavatel zavést všechny materiály s velmi vysokými logistickými nároky: potřebné materiály byly dodány zabalené do fólie, vyčištěny v materiálové šachtě a následně vloženy do čistého prostoru.

„Pro nás byla největší výzvou poměrně úzký časový plán projektu,“ říká Tesch. „Včetně plánování montáže a zajištění materiálu jsme měli pouze pět měsíců do dokončení zakázky. Během této doby bylo na stavbě přítomno ještě asi patnáct dalších řemesel, která byla v provozu šest dní v týdnu – tedy bylo nezbytné mít bezchybný plán. Přidaly se k tomu velmi omezené možnosti zavážky materiálu, což stavbu činilo pro nás logisticky velmi náročnou. Nakonec jsme však projekt dokončili k plné spokojenosti zákazníka.“