Se systémem MP220-4 nabízí společnost Steinmeyer Mechatronik, podnik skupiny Steinmeyer, vysoce přesný XYZ Tip-Tilt polohovací systém pro optické a aktivní zarovnávací procesy v optické a polovodičové výrobě, nyní také pro vyšší zatížení. Toto řešení kombinuje vynikající přesnost, vysokou životnost…

Systém polohování 2X-Y-Ys(Z) od Steinmeyer Mechatronik je ideálním řešením pro přesné umístění velkých a těžkých vzorků v Ramanově spektroskopii. Mikroskopický stůl vhodný do čistého prostředí v konstrukci gantry nabízí dodatečný zdvih při nakládání a vyniká velkým skenovacím rozsahem, vysokou nosno…

Skupina Steinmeyer je považována za předního specialistu na konstrukci, vývoj a výrobu náročných řešení pro polohování určených pro výrobu waferů a čipů. Příkladem jsou otočné stoly řad DT200 a DT310. Vysoce přesné rotační systémy jsou ploché, vhodné do čistých prostor, bezúdržbové, přizpůsobitelné…

Pro DUV-litografii vyvinula společnost Steinmeyer na svém místě v Drážďanech, největším centru IKT/mikroelektroniky v Evropě, ultrakompaktní, vysoce přesné řešení pro polohování pro osvětlení waferů v suchém, bezkyslíkovém dusíkovém prostředí. Tato inovativní sestava je navržena jako volitelný dopln…

Systém polohování 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta nabízí Steinmeyer Mechatronik inovativní řešení pro vysoce přesné vyrovnávací procesy. Kombinace tripodu a XY křížového stolu zajišťuje nejvyšší míru přesnosti, odolnosti a spolehlivosti a zároveň vyniká kompaktní konstrukcí a vysokou uživatelskou přívět…

6-ose manipulátory od Steinmeyer Mechatronik kombinují křížový stůl s tripodem a tím dosahují maximální přesnosti, tuhosti a kompaktnosti. Ideální řešení pro vysoce přesné inspekční systémy v polovodičovém průmyslu.

Před měřením nebo obráběním musí být wafery a optiky mikrometrově přesně vyrovnány. T…

Vysoce přesný 8osý pozicovník od dresdenského specialisty na pozicování Steinmeyer Mechatronik nabízí širokou škálu nastavovacích možností a lze jej plně přizpůsobit individuální aplikaci zákazníka. Ideální řešení pro měření optik, například pro zajištění kvality nebo ve výrobě.

Když jsou dány požada…

Se dvěma XYZ-wafer pozicionérem od Steinmeyer Mechatronik nabízí vysoce efektivní řešení pro analýzu a inspekci velkých waferů až do 12 palců nebo 300 mm. Inspekční portál se čtyřmi čistými prostorovými osami umožňuje automatizované testování více objektů současně a zajišťuje nejvyšší efektivitu.

Dvo…

Spínací systém Steinmeyer Mechatronik GmbH ve spolupráci s August Steinmeyer GmbH & Co. KG vyvinul vysoce přesný poziční systém pro použití v suché atmosféře dusíku nebo ve vakuu. Tento maskovací systém je ideální pro použití v běžné i vysoce rozlišovací UV-litografii a umožňuje velmi jemné XY-T…

Křížový stůl KDT600 od Steinmeyer Mechatronik dosahuje díky své velikosti a použití lineárních motorů přesvědčení, která jsou výrazně vyšší než u křížených šroubových stolů. Jedinečný je velký průchod světlem. Apertura umožňuje měřit s nákladem několik mikrotiterových destiček z obou stran nebo s pr…