-
- powietrze
„GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – precyzyjne monitorowanie wymagających ilości powietrza wywiewanego w halach czystych półprzewodników”
Reinräume są często charakteryzowane tym, że wysokiej czystości powietrze wlotowe przeciwstawia się silnie obciążonemu powietrzu wywiewnemu. Na przykład w produkcji półprzewodników, z ich mokrochemicznymi etapami produkcyjnymi, powstają agresywne jakości powietrza wywiewnego.
Aby zapobiec reakcjom chemicznym róż…








