APMon - Geavanceerd deeltjesbewakingssysteem

Het systeem maakt voor het eerst een continue bewaking van oppervlaktelastingen door grote deeltjes mogelijk. Het opent analysemogelijkheden in cleanrooms die verder gaan dan ISO klasse 5, waar continue, extractieve deeltjesmonitoringsystemen principieel geen toepasbaarheid hebben.

APMON is een analysesysteem dat speciaal is ontworpen voor het continue monitoren van grote deeltjes (> 20 micrometer). Deze toepassing wordt mogelijk gemaakt doordat de traditionele methode van sedimentatieplaat-microscopie is doorontwikkeld naar een volledig automatische en continue analyzer. Concreet registreert een laseroptisch proces de sedimentatie van grote deeltjes op een array van testoppervlakken. Veranderingen in de deeltjesbezetting worden vastgelegd en aan het einde van een bepaalde tijdsperiode (vanaf 5 minuten en langer) weergegeven als het aantal deeltjes en de deeltjesverdeling.

APMON staat niet alleen voor de uitbreiding van conventionele monitoringsstrategieën richting grotere deeltjes, maar is bovendien een zeer efficiënte alternatieve oplossing voor handmatige en personeelsintensieve metingen met sedimentatieplaten.

Een APMON-systeem bestaat uit een centrale eenheid voor gegevensverwerking/-opslag/-visualisatie en externe sensoren voor sedimentatieanalyse. De fysieke aansluiting gebeurt via Ethernet of (bij kleinere systemen met twee sensoren) zelfs draadloos via Bluetooth. Daarom is een APMON-monitoringsysteem verbonden met een zeer geringe installatie-inspanning en mag het gerust het kenmerk 'plug and play' dragen.

• Analyzesysteem voor realtime vastlegging van oppervlaktereinigheid
  • Vangt vooral ook grote deeltjes op
  • Aantal deeltjes en deeltjesverdeling
  • Bepaling van de Particle Deposition Rate (PDR) volgens de komende ISO 14644–3
  • Bepaling van de Particle Deposition Class (PDC) volgens ISO 14644-9
  • Grafische weergave van de oppervlaktereinigheid
  • Klaar voor gebruik systeem – geen pompen, monsternameleidingen of andere complexe infrastructuur nodig
  • Systeem schaalbaar tot 6 sensoren per evaluatie-eenheid