-
- Elektronika (wafer, félvezető, mikrochipek,...)
Ultrakompakt, rendkívül pontos, száraz kenésű, megbízható, kevés karbantartást igénylő
Innovatív pozícionáló megoldás a DUV-litográfiához
A DUV-litográfiához a Steinmeyer a drezdai helyszínen, Európa legnagyobb IKT-/mikroelektronikai központjában, egy ultrakompakt, rendkívül pontos pozícionáló megoldást fejlesztett ki a szilárdtest-lézeres szilíciumlapka-expozícióhoz száraz, oxigénmentes nitrogéngáz atmoszférában. Az innovatív egység…








