Elektrosztatikus feltöltődés és levegőionizáció a tisztatérben

Az utóbbi időben jelentős előrelépések történtek a gyártás optimalizálásában a selejt arányának csökkentése érdekében az ultra tiszta félvezetőgyártásban, valamint más tisztatéri folyamatokban is. Ennek ellenére, még az 1. osztályú tisztatéri szobákban is fennállnak azok a problémák, amelyek a nem k…