Elektrostatische lading en luchtionisatie in de cleanroom

In de afgelopen tijd zijn belangrijke vorderingen geboekt op het gebied van productieoptimalisatie met betrekking tot het afvalpercentage in de ultrareine halfgeleiderfabricage en andere fabricageprocessen onder cleanroomomstandigheden. Toch blijven, zelfs in klasse 1 cleanrooms, de problemen bestaa…