Elektrostatické nabíjení a ionizace vzduchu v čistém prostoru

V poslední době byly dosaženy významné pokroky v optimalizaci výroby s ohledem na odpad v ultračisté výrobě polovodičů a dalších výrobních procesech v čistých prostorách. Přesto zůstávají, i v třídě 1 čistých prostor, problémy s nežádoucími dopady částic, které se generují přímo v čistém prostoru. E…