Az úttörő a regeneratív AMC-szűrők terén
Hatékony szűrőanyagok költséghatékony külső levegő-
keringtető és folyamatlevegő szűrésekhez
A problémakör:
A félvezetőgyártásban, ahol a szerkezeti szélességek kicsik, külön kihívást jelent a levegőben szállított, gáznemű anyagok jelenléte, amelyek nem kívánt kémiai reakciókat válthatnak ki a wafer fe…








