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Le nouveau capteur SensoTech permet la surveillance en ligne continue des concentrations chimiques dans les processus humides des semi-conducteurs. (Image : SensoTech GmbH) Le contrôleur visualise en temps réel les concentrations mesurées en ligne, par exemple de TMAH et H₂O₂, ainsi que la température du processus. (Image : SensoTech GmbH) Le contrôleur visualise en temps réel les concentrations mesurées en ligne, telles que TMAH et H₂O₂, ainsi que la température du processus. (Image : SensoTech GmbH)
  • Électronique (wafers, semi-conducteurs, microprocesseurs,...)

Mesure en ligne des concentrations dans des processus tels que SC1, SC2 et BOE

Nouveau capteur à ultrasons de SensoTech pour les processus de traitement humide des semi-conducteurs

Une nouvelle technologie de capteur mesure directement dans le processus en cours des substances chimiques critiques et aide les fabricants de semi-conducteurs à détecter plus tôt les écarts de processus, à réduire les efforts de laboratoire et à rendre les processus humides plus stables.

Dans la fab…

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