Fab-Automatisierung en direct : Roth & Rau - Ortner a présenté des robots de transport mobiles pour les usines de semi-conducteurs lors de Semicon Europe

Grâce à Scout, les opérateurs peuvent se concentrer sur leurs tâches importantes. / Scout helps operators and allows them to concentrate on important tasks.

La nouvelle version du produit « Scout active » ne peut pas seulement transporter des matériaux, mais aussi les récupérer et les décharger.

La version du produit « Scout Reticle Transport » sert au transport automatisé des masques de photolithographie (réticule) dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. / La version du produit « Scout reticle transport » automatise le transport des réticules dans les usines de fabrication de semi-conducteurs.

Scout peut même être utilisé en toute sécurité dans les zones où l'humain et la machine travaillent en étroite collaboration.

Vue de l'interface utilisateur de Scout. / Écran tactile de Scout en détail.

Lors du salon des semi-conducteurs Semicon Europe, Roth & Rau - Ortner GmbH a présenté pour la première fois son robot de salle blanche mobile Scout active. En tant que spécialiste de l'automatisation industrielle, l'entreprise a développé ce robot à navigation libre en collaboration avec son partenaire MetraLabs GmbH.

Équipé d'un bras robotisé à 6 axes, Scout active assure le transport automatisé flexible des matériaux dans les usines de semi-conducteurs et autres environnements de production propres. Le robot peut ainsi non seulement transporter des cassettes de wafers, mais aussi les récupérer et les déposer de manière autonome. « Jusqu'à présent, Scout n'était connu que comme un simple véhicule de transport », explique Dr. Karli Hantzschmann, responsable du département « Automatisation » chez Roth & Rau - Ortner GmbH. « Désormais, il devient un système actif, qui soulage les opérateurs non seulement dans les tâches de transport nécessaires, mais aussi dans la manipulation des matériaux — permettant ainsi aux usines de produire plus efficacement, tout en économisant du temps précieux et des coûts. »

Scout autonome pour un transport de matériaux plus efficace dans les usines de semi-conducteurs

Scout navigue de manière autonome et ne nécessite aucun système de guidage au sol ou au plafond. Via WLAN et une interface utilisateur graphique, il est possible de générer de nouvelles commandes de transport et d'afficher des informations importantes sur son statut, comme par exemple sa position actuelle dans l'usine. Scout est conforme aux normes de salle blanche jusqu'à la classe ISO 3 / US FED 1 et a prouvé sa fiabilité avec plus de 5 000 km parcourus en salle blanche.

Il peut être déployé partout où un système de transport fixe, comme un système de rails ou de convoyeurs, serait difficile à mettre en place ou trop coûteux. « Grâce à sa taille compacte et à sa technologie de capteurs fiable, Scout peut travailler en toute sécurité dans des espaces très restreints, aux côtés des humains et des machines », explique Hantzschmann.

Scout est capable de transporter différents matériaux et produits entre divers points de l'usine, d'effectuer des mesures, ainsi que de manipuler des outils et des accessoires. Selon les besoins, il peut être équipé de différentes structures pour la manipulation (par exemple, bras robotisés ou axes linéaires) et le transport (par exemple, pour les pods SMIF ou les boîtes HA 200), ce qui permet de l'adapter à diverses applications.

Solution d'automatisation intelligente pour des usines de puces plus compétitives

Scout constitue une partie intégrante du concept « Missing Link » de Roth & Rau - Ortner, qui propose des solutions d'automatisation sur mesure pour les usines de semi-conducteurs existantes. L'offre s'adresse principalement aux sites de fabrication avec une production semi-automatisée : dans les usines plus anciennes, la manipulation des matériaux entre les étapes de fabrication est souvent encore effectuée manuellement. « Cela mobilise des ressources humaines précieuses, demande beaucoup de temps et engendre des coûts importants, tout en étant sujet à des erreurs. Ortner a développé pour ces lignes de production une technologie « sur mesure » qui prend en charge la manipulation des wafers et des cassettes en salle blanche, rendant ainsi les usines de puces plus compétitives », conclut Dr. Karli Hantzschmann.