Fab-Automatisierung live: Roth & Rau - Ortner presenteerde mobiele transportrobots voor halfgeleiderfabrieken op Semicon Europa

Met behulp van Scout kunnen operators zich richten op hun belangrijke taken. / Scout helpt operators en stelt hen in staat zich op belangrijke taken te concentreren.

De nieuwe productversie "Scout active" kan niet alleen materialen vervoeren, maar ook zelfstandig ophalen en afzetten.

De productversie "Scout Reticle Transport" is bedoeld voor het geautomatiseerd transport van fotomaskers (reticles) in chipfabrieken. / De productversie "Scout reticle transport" automatiseert het transport van reticles in halfgeleiderfabrieken.

Scout kan zelfs veilig worden ingezet op plaatsen waar mens en machine nauw samenwerken.

Weergave van de gebruikersinterface van Scouts. / Touchscreen van Scout in detail.

Op de halfgeleiderbeurs Semicon Europa presenteerde Roth & Rau - Ortner GmbH voor het eerst haar mobiele cleanroom-robot Scout active. Als specialist in fabrieksautomatisering heeft het bedrijf de vrij navigeerde robot samen met haar partner MetraLabs GmbH ontwikkeld.

Uitgerust met een 6-assige robot neemt Scout active de flexibele geautomatiseerde materiaaltransporten over in halfgeleiderfabrieken en andere schone productieomgevingen. De robot kan dus niet alleen wafers cassettes vervoeren, maar deze ook zelfstandig ophalen en neerzetten. “Tot nu toe was Scout alleen bekend als puur transportvoertuig,” zegt Dr. Karli Hantzschmann, afdelingshoofd “Automatisering” bij Roth & Rau - Ortner GmbH. “Nu wordt hij een actief systeem dat operators naast de noodzakelijke transporttaken ook het materiaalhandling uit handen neemt – zo kunnen fabrieken efficiënter produceren en tegelijkertijd waardevolle tijd en kosten besparen.”

Autonoom handelende Scout voor efficiënter materiaaltransport in halfgeleiderfabrieken

Scout navigeert autonoom en heeft geen leidingsystemen op de vloer of aan het plafond nodig. Via WLAN en een grafische gebruikersinterface kunnen nieuwe transportopdrachten worden gegenereerd en belangrijke statusinformatie, zoals bijvoorbeeld de huidige locatie in de fabriek, worden weergegeven. Scout is cleanroomgeschikt tot klasse ISO 3 / US FED 1 en heeft met meer dan 5.000 km operationele afstand in de cleanroom zijn betrouwbaarheid bewezen.

Het kan overal worden ingezet waar een vast transportsysteem zoals een railsysteem of transportband niet realiseerbaar of te arbeidsintensief zou zijn. “Door zijn compacte formaat en betrouwbare sensortechnologie kan Scout zeer veilig werken op de kleinste ruimte met mens en machine,” legt Hantzschmann uit.

Scout is in staat om verschillende materialen en producten tussen willekeurige punten in de fabriek te vervoeren, metingen uit te voeren en gereedschappen en hulpmiddelen te hanteren. Door verschillende opbouwen voor de handling (bijvoorbeeld robotarmen of lineaire assen) en het transport (bijvoorbeeld voor SMIF-pods en HA 200-boxen) kan Scout worden aangepast aan verschillende wensen en behoeften.

Slimme automatiseringsoplossing voor concurrerender chipfabrieken

Scout is een integraal onderdeel van het “Missing Link”-concept van Roth & Rau - Ortner, dat op maat gemaakte automatiseringsoplossingen biedt voor bestaande halfgeleiderfabrieken. Het aanbod richt zich vooral op productievestigingen met semi-geautomatiseerde productie: in oudere fabrieken gebeurt het materiaalhandling vaak nog handmatig tussen de productieprocessen. “Dat bindt waardevolle arbeidskrachten, kost veel tijd en brengt aanzienlijke kosten met zich mee, en is bovendien gevoelig voor fouten. Ortner heeft voor dergelijke productielijnen ‘op maat gemaakte’ technologie ontwikkeld die het handling van wafers en cassettes in de cleanroom overneemt en chipfabrieken uiteindelijk ook concurrerender maakt,” concludeert Dr. Karli Hantzschmann.