-
- Produkty, zařízení, systémy, zařízení pro aplikace
Uvolňování plynů pod kontrolou – zajištění čistoty ve výrobě polovodičů
Podstatné fakta v přehledu
– evolast® nastavuje nový standard čistoty v polovodičovém průmyslu: Vyvinuto pro ultra nízký emisní výkon, který chrání integritu procesu v kritických prostředích plazmy, teploty a chemie.
– Nejpokročilejší nízkoemisní elastomerový materiál: evolast® zajišťuje kontaminaci-n…








