AIST vyvíjí grafen na 300mm waferech s zařízením AIXTRON

AIST vyvíjí grafen na 300 mm waferech s zařízením AIXTRON

Nationalní institut pokročilých průmyslových věd a technologií (AIST) v Japonsku úspěšně uvedl do provozu zařízení AIXTRON BM 300. Toto zařízení bylo v roce 2011 instalováno týmem AIXTRON v čisté místnosti japonského institutu v Tsukubě. V rámci jarní konference MRS 2012 představil vedoucí skupiny AIST Dr. Shintaro Sato výsledky dne 10. dubna.

„S odstraňováním monovrstvých grafenu na 300mm waferech v AIST jsme dosáhli dalšího důležitého milníku,“ vysvětlil Dr. Ken Teo, ředitel oddělení nanoinstrumentů u AIXTRON. „BM 300 je nejpokročilejší technologie pro výrobu grafenu.“ Kromě vysoce moderního systému pro extrémně přesné řízení přívodu plynů surovin je standardně vybavena in-situ pyrometrem ARGUS pro měření teploty povrchu, topným systémem pro optimální rozložení teploty na waferu a transferním modulem pro automatické zakládání waferů. „Výjimečně přesná kontrola a vysoká reprodukovatelnost zařízení na 300mm grafenových waferech jsou nezbytné pro odstraňování grafenu ve velkém měřítku,“ dodal expert z AIXTRON. „Tím jsme vytvořili základnu pro plné využití jedinečných vlastností tohoto materiálu při výrobě příští generace polovodičových součástek.“

Skupina kolem Dr. Sata bude s tímto zařízením odstraňovat vysoce kvalitní grafen s kontrolovaným počtem vrstev – což je klíčová podmínka pro výrobu CMOS pole-efektových tranzistorů s nízkým provozním napětím pod 0,3 voltu pomocí této procesní technologie.

Projekt je podporován programem FIRST1. Poskytováním výsledků výzkumu FIRST podporuje udržitelná výzkumná opatření, která přispívají ke zvýšení konkurenceschopnosti Japonska na světovém trhu a k blahu společnosti a obyvatelstva. Program byl schválen v roce 2009 Výborem pro vědecko-technologickou politiku (Kabinett) japonské vlády a Japonskou společností pro podporu vědy.

Procesování waferů probíhá ve spolupráci s GNC (Green Nanoelectronics Center), který je součástí AIST, pod vedením Dr. Naoki Yokoyamy v rámci výzkumného projektu „Vývoj klíčových technologií pro zelenou nanoelektroniku“, který je rovněž financován FIRST. GNC existuje od dubna 2010 a zaměstnává vědce z institucionálního i průmyslového výzkumu.

1 FIRST, Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology = Program na podporu světově vedoucího inovativního vědeckého a technologického výzkumu a vývoje.

Obrázek: AIXTRON BM 300 s automatickým zakládáním waferů