SMC modyfikuje wysokowakuowe zawory kątowe z serii XL

Szczegóły techniczne w skrócie

Zawory kątowe do wysokiego vacuum z serii XL: teraz również z odporowym na wysoką temperaturę sygnalizatorem dla wersji wysokotemperaturowej, opcjonalnie z zaworem elektromagnetycznym i wymiennym kurkiem falowym. (Zdjęcie: SMC Deutschland GmbH)

Jak wszystkie wysokoprzepustowe zawory kątowe serii XL firmy SMC, nowe modele są wyposażone w aluminiową obudowę. Dzięki temu użytkownicy odnoszą wielorakie korzyści: niska waga, wysoka odporność i odporność na agresywne media, takie jak gaz fluorowy, to ważne zalety. Dodatkowo, dzięki doskonałej przewodności cieplnej aluminium, w korpusie zaworu panuje w dużym stopniu jednorodny rozkład temperatury. W ten sposób w dużej mierze unika się osadzania procesowych gazów wewnątrz zaworu. Gdy zawory kątowe są używane w warunkach czystej produkcji, aluminium ma kolejną przewagę nad stalą: obudowa zaworu nie zawiera metali ciężkich, takich jak nikiel czy chrom, co minimalizuje zanieczyszczenie kontaktujących się mediów. Ponieważ aluminium mało wydmuchuje, przy użyciu nowych zaworów kątowych serii XL można pracować z mniejszymi pompami próżniowymi lub skrócić czasy ewakuacji.

Ze względu na te szczególne zalety, zawory kątowe serii XL według Tobias Hartherza, Product Management w SMC Deutschland, mogą szczególnie sprawdzić się w procesach wstępnych przemysłu półprzewodnikowego. W szczególności można tu wyróżnić systemy do napylania i CVD oraz urządzenia do osadzania i plazmowego trawienia. Jednakże, według niego, znajduje on wiele zastosowań także w przemyśle spożywczym i medycznym: „W komorach suszarniczych próżniowych, systemach zamrażania próżniowego, urządzeniach do redukcji tlenu czy systemach filtracji próżniowej zawory kątowe serii XL mogą w pełni wykorzystać swoje zalety.”

Dwie opcje uszczelnienia dostępne

Dzięki szerokiemu wyborowi rozmiarów złączek w zakresie nominalnym od 16 do 80 mm, zawory kątowe serii XL można elastycznie integrować. Jako wariant uszczelnienia użytkownicy mogą wybrać spośród dwóch wersji: oprócz uszczelnienia z pierścieniem foliowym dostępna jest również wersja z uszczelnieniem O-ringiem, co skraca czasy cykli.

Decydując się na zawory kątowe z uszczelnieniem z pierścieniem foliowym, można łatwo wymienić element: specjalny zestaw wymiany zawiera jedynie moduł pierścienia foliowego. Napęd pneumatyczny nie musi być koniecznie wymieniany. Testy przeprowadzone przez firmę SMC wykazały, że nowo zaprojektowany kształt osiąga żywotność do 2 milionów cykli, jeśli przestrzegana jest zalecana kierunek ewakuacji. Testowano zawór kątowy z rozmiarem złącza 80 mm.

Z elementem grzewczym do 150 °C

Opcjonalnie modele serii XL można zamówić z elementem grzewczym i odpornym na wysoką temperaturę sygnalizatorem, który posiada dwukolorowy wyświetlacz. W tej wersji zawory kątowe są odpowiednie do pracy w temperaturach do 150 °C.