SMC wijzigt hoogvacuum-hoekventielen van de serie XL

Technische Details in Übersicht

De hoogvacuum-hoekventielen van de XL-serie: Nu ook met hittebestendige signaalgever voor de hoogtemperatuuruitvoering, optioneel met elektromagnetisch ventiel en verwisselbare flexibele membraan. (Foto: SMC Deutschland GmbH)

Zoals alle hoogvacuüm-hoekventielen uit de XL-serie van SMC zijn ook de nieuwe modellen uitgerust met een aluminium behuizing. Hierdoor profiteren gebruikers op meerdere manieren: het lage gewicht, de hoge bestendigheid en de weerstand tegen agressieve media zoals fluorgas zijn belangrijke voordelen. Daarnaast zorgt de uitstekende thermische geleidbaarheid van aluminium voor een grotendeels homogene temperatuurverdeling in de ventielbehuizing. Hierdoor worden afzettingen van procesgassen in de binnenkant van het ventiel grotendeels voorkomen. Wanneer de hoekventielen onder pure productietoepassingen worden gebruikt, biedt aluminium een bijkomend voordeel ten opzichte van staal: de ventielbehuizing bevat geen zware metalen zoals nikkel of chroom, waardoor er slechts minimale contaminatie van de betrokken media ontstaat. Omdat aluminium nauwelijks uitgast, is het bij gebruik van de nieuwe XL-serie hoekventielen mogelijk om met kleinere vacuumpompen te werken of de evacuatieperiodes te verkorten.

Vanwege deze speciale voordelen kunnen de hoekventielen van de XL-serie volgens Tobias Hartherz, Product Management bij SMC Duitsland, vooral in de voorprocessen van de halfgeleiderindustrie uitblinken. Concreet kunnen hier de sputter- en CVD-systemen, evenals de systemen voor etsen en plasma-etsen, worden genoemd. Maar ook in de voedingsmiddelenindustrie en de medische technologie ziet hij veel toepassingsmogelijkheden: “In vacuüm- droogkasten, vacuüm- vriesdrooginstallaties, zuurstofreducerende systemen of vacuüm-filter systemen kunnen de XL-serie hoekventielen hun kracht volledig benutten.”

Twee afdichtingsopties beschikbaar

Door de grote keuze aan flensmaten in de nominale maten van 16 tot 80 mm kunnen de hoekventielen van de XL-serie flexibel worden geïntegreerd. Als afdichtingsvariant kunnen gebruikers kiezen tussen twee uitvoeringen: naast de membraanafdichting is er ook een variant met O-ringafdichting voor kortere cyclustijden.

Wie kiest voor de hoekventielen met membraanafdichting, kan een noodzakelijke vervanging eenvoudig uitvoeren: een speciaal vervangingsset bevat alleen de membraangroep. De pneumatische aandrijving hoeft daarom niet per se te worden vervangen. Tests bij SMC hebben aangetoond dat de nieuw ontworpen constructie een levensduur van tot wel 2 miljoen cycli bereikt, mits de aanbevolen evacuatierichting wordt aangehouden. Er is een hoekventiel met 80 mm flensmaat getest.

Met verwarmingselement tot 150 °C inzetbaar

Optioneel kunnen de modellen van de XL-serie worden besteld met een verwarmingselement en een hittebestendige signaalgever die een twee-kleuren indicator heeft. In deze uitvoering zijn de hoekventielen geschikt voor gebruikstemperaturen tot 150 °C.