SMC upravuje vysokovakuové rohové ventily série XL

Technické detaily v přehledu

Hochvakuumové rohové ventily série XL: nyní také s odolným signálním zařízením pro vysokoteplotní provedení, volitelně s elektromagnetickým ventilem a vyměnitelným skládacím vakem. (Foto: SMC Deutschland GmbH)

Jako všechny vysokovakuové rohové ventily série XL od SMC jsou i nové modely vybaveny hliníkovým pouzdrem. To přináší uživatelům několik výhod najednou: nízká hmotnost, vysoká odolnost a odolnost vůči agresivním médiím, jako je fluorovodík. Díky vynikající tepelně vodivé schopnosti hliníku je také zajištěno téměř homogenní rozložení teploty v těle ventilu. Tím se do značné míry předchází usazování procesních plynů uvnitř ventilu. Pokud jsou rohové ventily používány za čistých výrobních podmínek, nabízí hliník další výhodu oproti oceli: tělo ventilu neobsahuje těžké kovy, jako je nikl nebo chrom, a proto vzniká jen minimální kontaminace přicházejících médií. Jelikož hliník téměř nevydává plyn, je při použití nových rohových ventilů série XL možné pracovat s menšími vakuovými čerpadly nebo zkrátit dobu evakuace.

Vzhledem k těmto speciálním výhodám podle názoru Tobias Hartherze, produktového manažera ve společnosti SMC Deutschland, mohou ventily série XL především v předprocesních fázích polovodičového průmyslu zazářit. Konkrétně lze vyzdvihnout zařízení pro sputtering a CVD, stejně jako zařízení pro etching a plazmové leptání. Ale také v potravinářském průmyslu a zdravotnictví vidí mnoho možností využití: „Rohové ventily série XL mohou plně využít své přednosti v vakuových sušárnách, vakuových mrazírnách, zařízeních pro redukci kyslíku nebo vakuových filtračních systémech.“

Dvě možnosti těsnění

Díky široké škále velikostí připojení v nominálních rozměrech od 16 do 80 mm lze ventily série XL flexibilně integrovat. Jako varianta těsnění si uživatelé mohou vybrat mezi dvěma provedeními: vedle těsnění s manžetou je k dispozici i varianta s O-kroužkem pro kratší cykly.

Ti, kteří se rozhodnou pro ventily s těsněním s manžetou, mohou snadno provést potřebnou výměnu: speciální sada na výměnu obsahuje pouze sestavu manžety. Pneumatický pohon tak již nemusí být nutně vyměněn. Testy provedené u SMC ukázaly, že nově koncipovaná konstrukce dosahuje životnosti až 2 miliony cyklů, pokud je dodrženo doporučené směrování evakuace. Testován byl roh s připojením o velikosti 80 mm.

Možnost použití s topným prvkem do 150 °C

Volitelně lze modely série XL objednat s topným prvkem a odolným signálním ukazatelem, který má dvoubarevnou indikaci. V této variantě jsou rohové ventily vhodné pro provozní teploty až do 150 °C.