Van de pionier op het gebied van regeneratieve AMC-filters
Hochwaardige filtermaterialen voor kostenefficiënte buitenlucht-
-omluft- en procesluchtfiltratie
De probleemstelling:
Een bijzondere uitdaging in de halfgeleiderfabricage met kleine structuurbreedtes zijn luchtgedragen, gasvormige stoffen die ongewenste chemische reacties op het waferoppervlak en in p…








