Meer zien, sneller begrijpen? Inspectiesystemen voor de hoogste doorvoer

Meer zien, sneller begrijpen? Inspectiesystemen voor de hoogste doorvoer

In de halfgeleiderindustrie moeten inspectie, procescontrole en foutenanalyse van wafers snel, veilig en ergonomisch zijn. Met de inspectiemicroscopen Leica DM8000 M en Leica DM12000 M brengt Leica Microsystems een nieuwe productlijn op de markt die aan deze eisen optimaal voldoet. De nieuwe instrumenten zijn optioneel verkrijgbaar voor de inspectie van 8- of 12-inch wafers.

Meer overzicht met de macromodus
Met de geïntegreerde macro-modus bieden de inspectiemicroscopen Leica DM8000 M en DM12000 M een tot vier keer groter overzicht van het proefstuk dan traditionele overzichtsobjectieven. Zo kan het gehele gebied snel en veilig worden gescand op mogelijke defecten.

LED-verlichting voor een schonere werkomgeving
In de Leica DM8000 M en DM12000 M is de LED-verlichting geïntegreerd in het statief. Zo wordt de airflow in de cleanroom optimaal geleid rondom het microscoop, omdat lampenhuizen volledig wegvallen. De moderne Power-LEDs hebben bovendien een lange levensduur bij laag energieverbruik. Dit bespaart kosten en is milieuvriendelijker. Ook de optioneel verkrijgbare i-line UV-verlichting is gebaseerd op LED-technologie.

Hoge resolutie vanuit elke hoek
De nieuwe oblique UV-modus combineert de scheve verlichting met i-line UV-licht. Zo kan het proefstuk snel en eenvoudig van alle kanten, in 3D en met de hoogste resolutie worden bekeken.

Comfort tijdens het werken verhoogt de kwaliteit
Omdat comfort tijdens het werken een voorwaarde is voor meer prestaties en daarmee betere kwaliteit, zijn de bedienelementen ontworpen volgens de hoogste ergonomische normen. Alle bedieningselementen zijn geïntegreerd in het statief en gemakkelijk bereikbaar, zodat ogen en handen niet van het microscoop hoeven te worden gehaald bij het schakelen. Met individueel instelbare ergotuben en focusknoppen kan het inspectiesysteem op elke gebruiker worden afgestemd. Focus-Finder, geheugenfunctie en de geïntegreerde verlichtings- en contrastmanager maken de bediening eenvoudiger en helpen fouten te voorkomen.

Systeemintegratie: perfect op elkaar afgestemd
Leica Microsystems biedt de Leica DM8000 M en DM12000 M als compleet systeem aan: microscoop, camera en software zijn perfect op elkaar afgestemd. Daarnaast kan het systeem worden aangevuld met speciale inspectie- en reviewsoftware. Compatibiliteit met waferladers van verschillende fabrikanten maakt het aanbod compleet.

Afbeelding: Meer beeldinformatie in kortere tijd: Nieuwe optische functies van de Leica DM8000 M/DM12000 M zorgen voor meer resolutie en hogere doorvoer bij inspectie.