Fraunhofer ENAS breidt samenwerking met memsstar uit

Onderhoud van de 200-mm-plasma-etchmachine »Applied Materials Centura 5200«, die volledig is gereviseerd en uitgebreid door memsstar. © Fraunhofer ENAS / Cornelia Schubert / Onderhoud aan de »Applied Materials Centura 5200« 200 mm plasma-etchmachine volledig herbouwd en uitgebreid door memsstar. © Fraunhofer ENAS / Cornelia Schubert

Lopende werkzaamheden aan de Centura 5200. © Fraunhofer ENAS / Cornelia Schubert / Werk in uitvoering bij de Centura 5200. © Fraunhofer ENAS / Cornelia Schubert

Fraunhofer ENAS en memsstar Limited gaan een partnerschap aan. Om de kwaliteit van de reactieve ionenetsprocessen in de MEMS-productie te waarborgen en de doorvoer te verhogen, werkt Fraunhofer ENAS nu met een volledig gerenoveerde »Applied Materials Centura 5200« 200-mm Plasma-etsinstallatie.

Het Fraunhofer-instituut voor Elektronische Nanosystemen ENAS is de expert en ontwikkelingspartner op het gebied van Smart Systems en hun integratie voor diverse toepassingen. Smart Systems bevatten niet alleen elektronische componenten, maar ook micro- en nanosensoren en actuorkomponenten met interfaces voor communicatie en een autonome energievoorziening. Als betrouwbare innovatiepartner ontwikkelt Fraunhofer ENAS high-performance-sensoren, nieuwe sensor- en actuatorsystemen op basis van geïntegreerde nanostructuren en standaardtechnologieën, beyond-CMOS-componenten, innovatieve integratietechnologieën en uitgebreide betrouwbaarheidbenaderingen.

Voor de fabricage van verschillende MEMS-componenten gebruiken we standaardapparatuur, zoals die in de micro-elektronica en microsystemtechniek wordt ingezet. Om een hoge kwaliteit van onze MEMS-componenten te garanderen en te voldoen aan ons DIN EN ISO 9001-certificaat, werden de proces- en installatiewensen uitgebreid, wat leidde tot vervanging van oudere installaties.

Een belangrijke technologische stap in de MEMS-productie is het etsen van de verschillende structuren. In het kader van een aanbesteding heeft Fraunhofer ENAS memsstar ingeschakeld als leverancier voor de levering van een gerenoveerde »Applied Materials Centura 5200« 200 mm Plasma-etsinstallatie met kamers voor:

– Multi-Purpose ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching) met DPS (Decoupled Plasma Source) setup
– Advanced Strip and Passivation (ASP+) in combinatie met oppervlaktebehandeling
– Speciaal ME-RIE (Magnetisch versterkte reactieve ionenets) alleen voor dielektrica
– Multi-Purpose ME-RIE Etching

memsstar is geselecteerd omdat het bedrijf unieke mogelijkheden biedt voor tooluitbreiding. Dit omvat actieve bescherming van de achterzijde van de MEMS-wafer, duidelijke/transparante waferhandling en -uitlijning, evenals een weerstandsbetriebene aluminiumverwarming voor de ASP(+)-kamer voor een duurzame verwerking (energiebesparing) en verbeterde kamervermogens.

Samen met upgrades ter bescherming tegen veroudering en de mogelijkheid om de oorspronkelijke kamer uit te breiden, waren de geïntegreerde voorzieningen voor premium-toolreiniging, on-site service en after-sales support eveneens een doorslaggevende factor in het selectieproces.

In het kader van het gekozen supportmodel dekt memsstar ook service en ondersteuning voor de verder geïnstalleerde Applied Materials-tools.