



Fotolithografie in einem neuen Licht – Reinräume für eine Hightech Branche
Heidelberg Instruments entwirft, entwickelt und fertigt maskenlose Laser-Lithographiesysteme für die Herstellung von Mikrostrukturen und bedient damit die weltweite Fotolithographie-Gemeinschaft sowohl im Bereich des Direktschreibens als auch in der Fotomaskenproduktion. Zu den Anwendungsbereichen…