-
- Elektronika (wafer, félvezető, mikrochipek,...)
Fraunhofer ENAS a partnere az új európai projektben, a „HaloFreeEtch”-ben, amely innovatív halogénmentes etetési folyamatok kutatásával foglalkozik
Több fenntarthatóság a félvezetőgyártásban
A Fraunhofer ENAS része az új, 2024. szeptemberében indult „HaloFreeEtch” („Új megközelítések halogénmentes és fenntartható szilícium- és üvegmaratásban”) nevű projektnek. A Chemnitz Műszaki Egyetem által koordinált projekt 48 hónapig tart, és az Európai Unió összesen 3.997.735 € támogatásban részes…








