-
- Elektronika (wafer, polovodiče, mikročipy,...)
Fraunhofer ENAS je partnerem v novém evropském projektu »HaloFreeEtch« na výzkum inovativních halogenfreiých etchovacích procesů
Větší udržitelnost ve výrobě polovodičů
Fraunhofer ENAS je součástí nového projektu »HaloFreeEtch«, který byl spuštěn v září 2024 (»Nové přístupy k halogen-free a udržitelné etchování křemíku a skla«). Projekt, jehož koordinátorem je Technická univerzita v Chemnitz, má dobu trvání 48 měsíců a je financován Evropskou unií celkovou část…








