Wafer-Chucks a félvezetőipar számára
Elektronikus eszközök egyre kisebbek lesznek, funkcióik pedig egyre bővülnek. Ez magas követelményeket támaszt a félvezetőipar gyártástechnológiáival szemben, amelyek a kifinomult vékonyítási technikákkal folytatják ezt a trendet. Extrém vékonyított waferek azonban speciális kezelési technikákat igé…








