Intézet a Mikroelektronikáért: Szabványterem-avatás Schmid miniszterrel és Fritz Kuhn polgármesterrel

Intézet a Mikroelektronik Stuttgart – Külső nézet

Intézet a Mikroelektronik Stuttgart – Átfogó nézet

Új tisztatér – belső nézet 2013 április eleje

Új tisztatér – Rendkívül merev, vasbetonból készült piskótalap, 70 cm vastag, 1.200 darab 40 cm-es lyukkal

Szállítási elektronnyaláb-író Vistec SB4050 2013. április 17-én – 11 tonna high-tech a horgon

Elektronsugaras író Vistec SB3050/4050 (Forrás: Vistec Electron Beam GmbH)

Gazdasági és pénzügyminiszter Dr. Nils Schmid és Fritz Kuhn, a főpolgármester, 2013. április 22-én felszentelték az új tisztatér a Stuttgart Mikroelektronikai Intézetben (IMS CHIPS) Stuttgart-Vaihingenben.

Stuttgart mikroelektronikai műhelye végre több helyet kapott az új csúcstechnológiai berendezések számára. Két év építési időszak után 2013. április 22-én ünnepélyesen átadták az intézet új tisztatéri helyiségeit. Egyidejűleg megnyitották az intézet szociális részlegét és az új generációs elektronnyaláb író berendezés szállítását is. Az ország összesen 14,7 millió euróval támogatta az építést és a berendezések beszerzését.

Schmid miniszter: „Az elérhető tisztatér felületek bővítésével megteremtjük a szükséges infrastruktúrát, hogy erősítsük a mikroelektronikai kutatásokat Stuttgartban, és hosszú távon biztosítsuk az intézet jövőbeli versenyképességét. Kisebb és közepes vállalkozások partnereként az intézet fontos hozzájárulást nyújt ahhoz, hogy kutatási és fejlesztési eredményeinket az iparban alkalmazzuk.”

A Stuttgart Mikroelektronikai Intézet a baden-württembergi Innovációs Szövetség (innBW) tizenkét szerződéses kutatóintézete közé tartozik, és vezető szerepet tölt be a nanostrukturálás, valamint az új eljárások kutatásában és fejlesztésében mikrochipek és nanostruktúrák gyártására. Az épített tisztatérrel a félvezetők és optikai komponensek gyártási területe több mint a felére növelhető és minőségében is javítható. Az új elektronnyaláb író berendezéssel az intézet a jövőben is fontos szerepet játszhat a rendkívül precíz optikai komponensek fejlesztésében és gyártásában, mint amilyenek a félvezetőipar számára szükségesek.

Nano-termékek növekedése

A ma világszerte alkalmazott berendezések, amelyek apró áramkörstruktúrákat másolnak szilíciumlapokra (waferekre), rendkívül precíz, nanométeres tartományban hibátlan optikákat igényelnek. Az egyik vezető ilyen lencserendszer-gyártó a Carl Zeiss SMT GmbH Oberkochenből. A Zeiss SMT exkluzív partnere a holland ASML vállalatnak, amely a világ legnagyobb wafer-stepper gyártója, a legköltségesebb berendezések a félvezetőgyártásban. Az intézettel közösen fejlesztettek ki új típusú optikai komponenseket, amelyek lehetővé teszik még finomabb struktúrák megvilágítását. Ezeknek a nanométeres optikáknak az alapvető elemeit az intézet tervezte, jelenleg kis mennyiségben gyártják, és a jövőben a legújabb elektronnyaláb íróval sorozatgyártásban készülnek.

Mikroelektronikus rendszerek

Az intézet 1983-as alapításakor az volt a fő cél, hogy biztosítsa a hazai gazdaság technológiai összekapcsolódását, különösen a kis- és közepes vállalkozások mikroelektronikai területén. Így 1986-ban üzembe helyezték Stuttgart-Vaihingenben az első teljes gyártási környezetet biztosító tisztatérhelyiséget mikrochipek számára. Az ASIC-ek (alkalmazás-specifikus integrált áramkörök), azaz olyan mikrochipek, amelyeket kifejezetten egy ügyfél számára terveznek és gyártanak, éppen hódító útjukat járták.

Az IMS CHIPS sikeresen betöltött egy rést a kész mikrochipek és a tömeggyártású ASIC-ek között. Különösen Baden-Württemberg erősen közepes vállalkozás-orientált gépgyártó ipara és az automatizálási technológia szektora profitál azóta a stuttgarti kis sorozatú ASIC-ekből. A gyártási minőség, amely ipari szabványok szerint készül, még a űrkutatás elvárásait is kielégíti: jelenleg több ezer chip van a Vaihingenből, amelyeket az EADS leányvállalat, az Astrium Friedrichshafenben gyártott, a műholdas radarképekben.

A gyógyászati technikában a retinakészülékek ismét figyelmet keltettek – kevésbé ismert, hogy az első chip-ek, amelyeket sikeresen beültettek az emberek szemébe, szintén az intézet tervezte és gyártotta. Az intézet jelentős szerepet játszott a vezetéstámogató kamerák fejlesztésében is, és a magas dinamikájú HDRC-képérzékelőkkel mérföldköveket ért el.

Ma az intézet számos mikroelektronikai rendszer igényeit szolgálja ki.

A jövő kutatása

A mikrochipek szerkezete nemcsak egyre kisebb lesz, és egyre erősebb termékeket eredményez, hanem rugalmasabbá is válik – szó szerint. A 2009-ben a tartományi kutatási díjjal kitüntetett, Prof. Joachim Burghartz vezetésével készült ultrafinom mikrochipek lehetővé teszik a vékony szilíciumlapok ipari gyártását szinte bármilyen formában és méretben, amelyek rendkívül rugalmasak és komplex elektronikát tartalmaznak a legkisebb helyen. Egy nemrég indult, a BMBF által támogatott kutatási program, amelyet az intézet vezet, ezzel a témával foglalkozik: összetett rendszerek fóliákon. Az, hogy ismert cégek, mint a Festo, Pilz és Würth is részt vesznek a projektben, mutatja, hogy a gazdaság mennyire értékeli a fóliás elektronika jövőbeli lehetőségeit.

IMS CHIPS

A Stuttgart Mikroelektronikai Intézet (IMS CHIPS) egy nonprofit alapítvány Baden-Württembergben, amely a szilícium-technológia, az alkalmazás-specifikus áramkörök (ASIC), a nanostrukturálás és a képérzékelés területén végzi a gazdaságközeli kutatást és gyártást, valamint szakmai továbbképzésekkel foglalkozik. Az intézet része a Baden-Württemberg Innovációs Szövetségnek, és elsősorban a kis- és közepes vállalkozások partnere Baden-Württembergben, de nemzetközi vezető félvezető vállalatokkal és beszállítókkal működik együtt. Az intézet Prof. Joachim Burghartz vezetésével közel 100 magasan képzett munkatárssal rendelkezik.