-
- Levegő
„GEEX – ACEX – CAEX – SOEX – igényes szellőzőgázmennyiségek pontos nyomon követése félvezető tisztaterekben”
Reinräume nem ritkán jellemzik azzal, hogy a magas tisztaságú frisslevegővel szemben erősen szennyezett elszívólevegő található. Például félvezetőgyártás során, ahol nedves kémiai gyártási lépések vannak, agresszív elszívólevegő minőségek alakulnak ki.
Az eltérő elszívólevegő típusok közötti kémiai reakciók megakadály…








